Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Selektivitätssteigerung von Gassensoren durch symmetrisch dichte Polymere und aktiv beheizte Filter
Graunke, Thorsten
: Wöllenstein, Jürgen (Erstgutachter); Urban, Gerald (Zweitgutachter)
Dissertation
2015Mikrosystem zur Brandgasdetektion nach dem Farbumschlagsprinzip
Pannek, Carolin
: Wöllenstein, Jürgen (Erstgutachter); Urban, Gerald (Zweitgutachter)
Dissertation
2014A generative manufacturing-based concept and equipment for flexible, scalable manufacturing of microsystems
Dickerhof, Markus; Kimmig, Daniel; Adamietz, Raphael; Iseringhausen, Tobias; Segal, Joel; Vladov, Nikola; Pfleging, Wilhelm; Torge, Maika
Conference Paper
2013Funktionale 3D-Strukturierung von Keramiken zur Herstellung sensorischer Mikrosysteme
Ziesche, Steffen; Lenz, Christian; Lohrberg, Carolin
Conference Paper
2013Integrated piezoelectrics for smart microsystems - a teamwork of substrate and piezo
Gebhardt, S.; Ernst, D.; Bramlage, B.; Flössel, M.; Schönecker, A.
Conference Paper
2012Modulare Produktionstechnik für die wirtschaftliche Serienfertigung mikrotechnischer Produkte
Schlenker, Dirk
Conference Paper
2010ActiveClamp innovatives Spannsystem für Mikro- und Präzisionsbauteile
Uhlmann, E.; Löwenstein, A.
Journal Article
2009C-VIS: Interoperative Tumorerkennung mit Hilfe von Nanopartikeln
Weber, Achim; Herz, Marion; Hirth, Thomas; Tovar, Günter E.M.; Stallkamp, Jan; Kaltenbacher, Dominik
Journal Article
2009Implants for epiretinal stimulation of retinitis pigmentosa patients
Trieu, H.-K.; Görtz, M.; Koch, C.; Mokwa, W.; Walter, P.
Conference Paper
2009Innovations- und Technikanalyse Autonomer Verteilter Mikrosysteme
Schischke, K.; Beucker, S.; Clausen, J.; Niedermayer, M.
Report
2009Strategic Research Agenda 2009
: Hossain, N.
Report
2008MINAM - micro and nano manufacturing at European level
Schäfer, Wolfgang; Zimmer, Klaus; Burke, Theresa; Reinhardt, Andrea
Book Article
2007Development of micro-integrated sensors and actuators based on PZT thick films
Gebhardt, S.E.; Rödig, T.; Partsch, U.; Schönecker, A.J.
Conference Paper
2007Die Digitale Fabrik - ein Produkt für Produkte
Westkämper, Engelbert
Journal Article
2007Extrusion of copper based MIM-feedstocks for miniature heat pipes
Aumund-Kopp, C.; Petzoldt, F.; Schlitt, R.
Conference Paper
2006Mikrotribologische Untersuchungen dünner Schichten unter Anwendung rastersondenbasierter Verfahren
Küster, R.
Dissertation
2006Multiskalige Mess- und Prüfstrategien in der Mikro- und Nanomesstechnik
Westkämper, E.; Osten, W.; Regin, J.; Wiesendanger, T.
Conference Paper
2005Micro structuring of metallic moulds and surfaces with a Q-switched thin disc laser
Hollemann, G.; Schubert, A.; Koriath, H.-J.
Conference Paper
2005Mikro- und Nanotechnik als wissenschaftliche Herausforderung
Westkämper, E.
Journal Article
2005Mikrodosieren leicht gemacht
Othman, N.
Journal Article
2005Mikrosysteme vor der Markteinführung - Bedeutung der Betriebsfestigkeit
Hanselka, H.
Conference Paper
2005Modular micro reaction system including ceramic components
Moritz, T.; Lenk, R.; Adler, J.; Zins, M.
Conference Paper
2005Neue multiskalige Mess- und Prüfstrategien für die Produktion von Mikrosystemen
Wiesendanger, T.; Osten, W.; Pannekamp, J.; Regin, J.; Westkämper, E.
Conference Paper
2005Reinraumtaugliche Werkstoffe
Gommel, U.
Journal Article
2004Development of tolerances for microsystems on the example of plasma deposited surfaces
Westkämper, E.; Schöbel, J.; Gottwald, B.; Sommadossi, S.-A.
Conference Paper
2004MEMS and microsystems based on low-temperature cofired ceramics: A cost analysis
Khanna, P.K.; Hornbostel, B.; Jäger, T.; Schäfer, W.
Journal Article
2004Microcontroller modules for the modular MEMS framework MATCH-X
Steck, A.; Muckenhirn, R.; LeNagard, M.
Book Article
2004Strength and reliability properties of glass frit bondet micro packages
Glien, K.; Graf, J.; Müller-Fiedler, R.; Höfer, H.; Ebert, M.; Bagdahn, J.
Conference Paper
2003Industrial manufacturing of microsystems
Westkämper, E.
Conference Paper
2003Kostengünstige Produktion von Anlagen zur Fertigung von Mikrosystemen
Wiechers, O.; Zehtaban, M.; Schließer, J.; Seidelmann, J.
Journal Article
2003Modellbasierte Steuerungsarchitektur
Bengel, M.
Journal Article
2003Ein modulares Baukastensystem für anwendungsspezifische Mikrosysteme
Schünemann, M.
Dissertation
2003Systemzuverlässigkeit sicherheitskritischer Mikropositioniersysteme
Hanselka, H.; Bein, T.; Melz, T.
Conference Paper
2003Untersuchungen im Rahmen einer Konzeption und Entwicklung eines neuen biohybriden Mikrosystems für den Einsatz im pharmazeutischen »Screening«
Thielecke, H.
Dissertation
2002Autarke Mikrosysteme in der Medizintechnik
Fischer, W.-J.; Grätz, H.
Conference Paper
2002Kostengünstige Produktion von Mikrosystemen
Bader, U.; Höhn, M.; Burger, V.; Hügler, K.; Müller, T.; Bihr, J.; Suntrup, M.
Journal Article
2002Match-X, das Baukastensystem für spezifische Mikrosysteme in Labor und Industrie
Lenz, T.; Schüle, A.
Conference Paper
2001Bildgebende Mikrosysteme: Chips, die mit Licht arbeiten
Lakner, H.; Wolter, A.; Schenk, H.
Book Article
2001Sensorsysteme im CMOS Prozess
Brockherde, W.
Conference Paper
2001Untersuchungen zu einem hochauflösenden Flächenlichtmodulator mit einstellbarem Profil einer Flüssigkeitsoberfläche zur optischen Musterwiedergabe
Wolter, A.
Dissertation
2000Chip design of a fuzzy controller used in micropumps and -valves
Jeroch, W.
Conference Paper
2000Chipentwurf eines Fuzzy-Reglers für den Einsatz mit Mikropumpen und -ventilen
Jeroch, W.
Conference Paper
2000Einsatz kryptographischer Algorithmen in der Mikrosystemtechnik und Mikroelektronik bei Betrachtung getakteter und selbstsynchronisierender Schaltungstechnik
Heinig, A.
Dissertation
2000A Fabrication Framework for Modular Microsystems
Großer, V.; Reichl, H.; Kergel, H.; Schünemann, M.
Journal Article
2000Gulliver - Forschung für die Produktion von morgen
: Schäfer, W.; Stock, A.
Report
2000Mehrwert durch High-Tech. Logistikperspektiven
Bandow, G.
Journal Article
2000Mehrwertdienste in der Logistik
Bandow, G.
Journal Article
2000Mikrosystemtechnik - Wann kommt der Marktdurchbruch?
Bierhals, R.; Cuhls, K.; Hüntrup, V.; Schünemann, M.; Thies, U.; Weule, H.
Book
2000Produktionstechnik für Mikrosysteme auf Basis standardisierter modularer Fertigungs-Plattformen
: Bader, U.; Hügler, K.; Rau, B.; Simon, A.; Straka, J.
Report
2000Sensorprozessor für Transponderanwendungen in energieautarken Systemen
Grätz, H.
Conference Paper
1999Automatisierte Montage und Justage von Mikrokomponenten
Schünemann, M.; Grimme, R.; Irion, K.-M.; Schlenker, D.; Stock, A.; Schäfer, W.; Rothmaier, U.
Journal Article
1999Economic Potentials of Miniaturization from the Industrial Viewpoint
Schünemann, M.; Hüntrup, V.; Bierhals, R.
Journal Article
1999FEM-basierte Generierung von Verhaltensmodellen
Haase, J.; Reitz, S.; Schwarz, P.
Conference Paper
1999Flexibles Montagesystem für die Feinwerk- und Mikrotechnik
Bauer, G.; Schlenker, D.; Stock, A.; Schünemann, M.; Schäfer, W.
Journal Article
1999Herstellung miniaturisierter Bauteile
Dorner, J.; Schünemann, M.
Conference Paper
1999Intelligente Informationsverarbeitung in Mikrosystemen
Presberger, T.
Dissertation
1999Kennzeichnung und Identifikation von Mikrosystemen
Matuscheck, P.; Stock, A.; Grimme, R.; Schünemann, M.; Schäfer, W.
Conference Paper
1999Mechanische Schnittstellen des modularen Baukastensystems für Mikrosysteme
Bauer, G.; Schünemann, M.; Schäfer, W.; Krause, W.; Gerstenberger, R.; Schulze, L.-P.; Mokronowski, J.
Conference Paper
1999Micromirror spatial light modulators
Dürr, P.; Gehner, A.; Dauderstädt, U.A.
Conference Paper
1999Micromirrors for direct writing systems and scanners
Lakner, H.; Doleschal, W.; Dürr, P.; Gehner, A.; Schenk, H.; Wolter, A.; Zimmer, G.
Conference Paper
1999Modellbasierte Optimierung mit mathematischen Methoden - ein Vergleich von klassischen und evolutionären Verfahren
Parodat, S.; Gorges-Schleuter, M.; Jakob, W.; Peters, D.
Conference Paper
1999Modulare Mikrosysteme für den Maschinen- und Anlagenbau
Schünemann, M.; Bauer, G.; Großer, V.; Dorner, J.
Journal Article
1999Ein modulares Optimierungssystem für den Mikrosystem- und Schaltungsentwurf
Schwarz, P.; Parodat, S.; Schneider, A.
Conference Paper
1999A new driving principle for micromechanical torsional actuators
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Kück, H.
Conference Paper
1999Offenes Softwarekonzept für ein modulares Fertigungssystem
Bader, U.; Schließer, J.; Hägele, K.-D.; Weinmann, A.
Journal Article
1999Per Mausklick zum Sensor
Voßkämper, L.; Pelz, G.
Journal Article
1998Automatisierte Produktion von Mikrosystemen
Hügler, K.; Bader, U.
Conference Paper
1998Baukastensystem Mikrosystemtechnik
Schünemann, M.; Bauer, G.; Schäfer, W.; Reichl, H.; Großer, V.; Leutenbauer, R.
Journal Article
1998Design and Application of Modular Microsystems
Schünemann, M.; Bauer, G.; Schäfer, W.; Leutenbauer, R.; Grosser, V.; Zoeppig, V.
Conference Paper
1998Design of a Microarray Production Line
Dobler, H.; Schmid, S.; Lindner, H.; Eichenlaub, U.
Conference Paper
1998Entwicklung und Charakterisierung membran-elastisch gekoppelter Siliziumanordnungen als flexibles Substrat zur CMOS-kompatiblen Integration von 3D-Mikrosystemen
Trieu, H.-K.
Dissertation
1998Industrieller Einsatz von Verbindungstechniken für Mikro- und Millimeterwellenkomponenten
Carraß, A.; Jeremias, M.; Vonderhagen, H.; Nienhaus, M.; Gramann, U.; Schäfer, H.
Journal Article
1998Lokale Reinigungsverfahren
Grimme, R.; Rochowicz, M.; Werner, D.; Schäfer, W.
Conference Paper
1998Mikrosystemtechnik - Werkzeugsystem für die Montage
Bauer, G.; Schünemann, M.; Schlenker, D.; Schäfer, W.
Journal Article
1998Modulare Mikrosysteme aus dem Baukasten
Großer, V.; Schünemann, M.; Amiri Jam, K.; Leutenbauer, R.
Conference Paper
1998Modulare Mikrosysteme für kleine und mittlere Stückzahlen
Schünemann, M.; Bauer, G.; Schäfer, W.; Großer, V.; Leutenbauer, R.
Conference Paper
1998Modularization of Microsystems and Standardization of Interfaces
Schünemann, M.; Bauer, G.; Schäfer, W.; Leutenbauer, R.; Grosser, V.; Reichl, H.
Conference Paper
1998Produktionskonzepte für die Mikrotechnik
Westkämper, E.; Schünemann, M.; Schlenker, D.; Bauer, G.; Grimme, R.; Schäfer, W.
Conference Paper
1998Produktionstechnik für Mikrosysteme 1998
 
Conference Proceedings
1998Spanende Mikrobearbeitung für die Mikrooptik
Gebhardt, A.
Journal Article
1997Adhesive Gripping with low viscosity liquids
Bark, C.; Binnenböse, T.; Vögele, G.; Weisener, T.; Widmann, M.
Conference Paper
1997Advances in Micro-Assembly
Schraft, R.D.; Schweizer, M.; Bark, C.; Vögele, G.; Weisener, T.
Journal Article
1997Automatisierte Montage und Justage von Mikrokomponenten
Schünemann, M.; Grimme, R.; Schlenker, D.; Stock, A.; Irion, K.-M.; Schmutz, W.
Conference Paper
1997Design of a Microarray Production Line
Dobler, H.; Schmid, S.; Lindner, H.; Eichenlaub, U.
Conference Paper
1997Design of a Microarray Production Line
Eichenlaub, U.; Schmid, S.; Lindner, H.
Conference Paper
1997Industrialisierung der Fertigungstechnik für Mikrosysteme
Westkämper, E.; Schünemann, M.; Schlenker, D.; Grimme, R.; Schäfer, W.
Conference Paper
1997Manufacturing Concepts and Development Trends in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Schünemann, M.; Grimme, R.; Kaufmann, T.S.; Schwaab, G.; Bader, U.; Schäfer, W.; Dorner, J.
Conference Paper
1997Modular magazine for the suitable handling of microparts in industry
Grimme, R.; Schmutz, W.; Schlenker, D.; Schünemann, M.; Stock, A.; Schäfer, W.
Conference Paper
1997Multi sensor controller with CAN field bus interface
Rietz, S.; Fischer, W.-J.
Conference Paper
1997Realisierung von monolithisch integrierten Mikrosystemen
Kück, H.
Conference Paper
1997Smart card for detection of alpha radiation
Grätz, H.; Fischer, W.-J.; Marschner, U.; Streil, T.
Journal Article
1996Adhesive Gripper - a new approach to handling MEMS
Westkämper, E.; Schraft, R.D.; Bark, C.; Vögele, G.; Weisener, T.
Conference Paper
1996Advances in Micro-Assembly
Schraft, R.D.; Schweizer, M.; Bark, C.; Vögele, G.; Weisener, T.
Conference Paper
1996Bedeutung der Mikrostrukturtechnik - Perspektiven für Laseranwendungen
Warnecke, H.-J.; Gillner, A.
Conference Paper
1996Bildverarbeitendes Mikrosystem überwacht Werkzeugverschleiß
Schulz, G.; Hermann, R.
Conference Paper
1996Bitte nicht berühren: Greifen mit Flüssigkeiten in der Mikrotechnik
Bark, C.; Vögele, G.; Weisener, T.
Journal Article
1996Chancen des Maschinenbaus durch die Mikrosystemtechnik
Schäfer, W.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Gehringer, H.
Conference Paper
1996Deformable micromirror devices as phase modulation high resolution light valves
Kück, H.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Grundke, W.; Melcher, R.; Paufler, J.; Seltmann, R.; Zimmer, G.
Conference Paper
1996Development Trends and Cleanroom Concepts in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Development Trends and Cleanroom Concepts in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Entwicklung eines ASIC für die Multi-Sensor-Signalverarbeitung mit integriertem CAN-Bus-Interface
Rietz, S.; Köhler, C.; Schneider, B.; Heinig, A.; Bender, S.; Grätz, H.; Fischer, W.-J.
Conference Paper
1996Entwicklungstrends in der industriellen Produktion von Mikrosystemen
Grimme, R.; Schünemann, M.; Großer, V.; Reichl, H.; Schäfer, W.; Schwaab, G.
Conference Paper
1996Fabrication of acceleration sensors using a new SIMOX technology for stiction free low stress
Geiger, W.; Erlebach, A.; Köhler, R.; Kück, H.
Conference Paper
1996Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen (MikroFAB)
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schwaab, G.; Kaufmann, T.S.; Bader, U.; Schlenker, D.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen (MikroFAB)
Grimme, R.
Conference Paper
1996Fuzzy-Mikrosysteme in der Sensorik
Knobloch, J.
Conference Paper
1996Greifen mit Flüssigkeiten
Bark, C.; Vögele, G.; Weisener, T.
Journal Article
1996Innovationen im Maschinenbau durch die Mikrosystemtechnik
Schäfer, W.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Gehringer, H.
Conference Paper
1996Innovationspotentiale im Maschinenbau durch die Mikrosystemtechnik
Schünemann, M.; Schäfer, W.; Schließer, J.; Gehringer, H.
Conference Paper
1996Microfabrication techniques for microsystems - mu m Fab - and first practical experience
Grosser, V.; Hillmann, V.; Reichl, H.; Grimme, R.
Conference Paper
1996Mikrofab - Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme
Schünemann, M.; Grimme, R.; Schwaab, G.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme - MikroFAB -
 
Conference Proceedings
1996Ein Mikrosystem zur kontaktlosen Temperaturmessung
Gäbler, U.; Dachselt, F.; Fischer, W.-J.; Holland, H.-J.; Müller, M.
Conference Paper
1996Modular System for Laser Microfabrication
Grimme, R.; Hillmann, V.; Jürss, M.; Otschik, P.; Poßner, T.
Conference Paper
1996New Cleanroom and Cleanliness Concepts for Microsystem Production
Dorner, J.; Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Nutzeroberfläche für die FEM-Analyse von mikromechanischen Systemen am Beispiel mikromechanischer Spiegel
Kunze, D.; Erlebach, A.; Gehner, A.; Kück, H.
Conference Paper
1996Produktionstechnik für Mikrosysteme
 
Conference Proceedings
1996Qualitätssicherungsaspekte im arbeitsteiligen Fertigungsprozeß der Mikrosystemtechnik
Gramann, U.; Kaufmann, T.S.
Conference Paper
1996Reinigung von Mikrosystemen und Mikrokomponenten
Grimme, R.; Schwaab, G.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Sensoren, Aktoren auf der Basis eines Sol- Gel - Moduls
Otschik, P.; Kluge, A.; Grimme, R.; Schönecker, A.; Schumacher, A.; Gesemann, H.J.
Conference Paper
1996Sensors/Actuators of the functional ceramics based on Sol-Gel technique for microsystems
Grimme, R.; Otschik, P.; Gesemann, H.J.
Conference Paper
1996Smart card for detection of alpha radiation
Grätz, H.; Fischer, W.-J.; Marschner, U.; Streil, T.
Conference Paper
1996Spanende Mikrofertigung
Westkämper, E.; Hoffmeister, H.-W.; Gäbler, J.
Journal Article
1996A Versatile Spray-Spin-Tool for Wet Chemistry Processes in a Microfabrication Line
Kluge, A.; Grimme, R.
Conference Paper
1996Eine vielseitige Spray-Spin-Anlage
Kluge, A.; Grimme, R.
Conference Paper
1996Visionsystem zur Qualitätssicherung in der Fertigung von Mikro/Millimeterwellenkomponenten
Gramann, U.
Conference Paper
1995ASICs in Mikrosystemen. Beispiele aus dem bayerischen Forschungsverbund FORMIKROSYS
Weber, N.; Baureis, P.; Schlag, U.
Conference Paper
1995Aufholbedarf beim Mittelstand
Schäfer, W.
Journal Article
1995Beschreibungsmittel für komplexe Systeme
Schneider, P.; Schwarz, P.; Wünsche, S.
Conference Paper
1995CAN core for integrated microsystems
Köhler, C.; Haase, T.; Fischer, W.-J.
Journal Article
1995Chemomechanische Aktoren
Schünemann, M.; Wurmus, H.
Book Article
1995Deformable micromirror devices as phase modulation high resolution light valves
Kück, Heinz; Doleschal, Wolfgang; Gehner, Andreas; Grundke, W.; Melcher, Rolf; Paufler, Jörg; Seltmann, Rolf; Zimmer, Günter
Conference Paper
1995Development Trends in the Industrial Production of Microsystems
Schäfer, W.; Schuenemann, M.; Grimme, R.; Grosser, V.
Conference Paper
1995Einheitlicher Ansatz zur Verhaltensbeschreibung mikrosystemtechnischer Komponenten
Clauß, C.; Haase, J.; Schwarz, P.; Wünsche, S.
Conference Paper
1995Entwurf von Mikrosystemen
Schwarz, P.; Wünsche, S.
Book Article
1995Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen
Schäfer, W.; Grimme, R.; Schünemann, M.
Conference Paper
1995Fuzzy-Chips für Temperaturregelung und Gasklassifikation
Jeroch, W.
Conference Paper
1995Ein Fuzzy-Mikrosystem zur Gasklassifikation
Knobloch, J.
Conference Paper
1995Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme
 
Conference Proceedings
1995Mikrosystemtechnik - eine Zukunftstechnologie für die Gegenwart
Warnecke, H.-J.
Book Article
1995Multikontaktierung von Nerven mit Mikrostrukturen
Meyer, J.-U.; Blau, C.; Stieglitz, T.
Journal Article
1995New alpha radiation detection systems for radon and radon daughter monitoring
Streil, Thomas; Klinke, Roland; Birkholz, W.; Just, G.
Journal Article, Conference Paper
1994Angewandte Forschung in der Mikrosystemtechnik am Beispiel der Fraunhofer-Gesellschaft
Warnecke, H.-J.
Conference Paper
1994Braucht die Mikrosystemtechnik die Reinraumtechnik?
Klumpp, B.; Dorner, J.
Journal Article
1994Herausforderung Mikromontage. Mikrosystemtechnik auf dem Vormarsch.
Weisener, T.; Vögele, G.; Holzapfel, C.
Journal Article
1994Methoden zur Bestimmung von mechanischen Eigenschaften von Mikrokomponenten
Sommer, E.; Olaf, J.M.
Journal Article
1994Perspektiven der Fertigungsgeräte-Industrie in der industriellen Produktion von Mikrosystemen
Schäfer, W.; Schweizer, M.; Dorner, J.; Weisener, T.; Vögele, G.
Conference Paper
1994Potentiale nutzen, Hemmschwellen abbauen
Melchior, K.
Journal Article
1994Trends in the Industrial Production of MST
Dorner, J.; Schäfer, W.
Journal Article
1994Umdenken in den bestehenden Produktionsstätten
Schäfer, W.; Schraft, R.D.
Book Article
1993Methoden zur Bestimmung von mechanischen Eigenschaften von Mikrokomponenten
Sommer, E.; Olaf, J.M.
Conference Paper
1993Mikrosystemtechnik - Gerätetechnik - Entwicklungsstand, Entwicklungstrends und Herausforderungen
Dorner, J.
Conference Paper
1993Simulation von Mikrosystemen
Schwarz, P.
Conference Paper
1992Geringes Gewicht, kleinste Abmessungen durch Integration auf kleinstem Raum
Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger
Journal Article
1991CMOS integrated capacitive pressure transducer with on-chip electronics and digital calibration
Kopystynski, P.; Mehlhorn, T.; Benzel, H.; Brockherde, W.; Obermeier, E.; Schnatz, F.V.; Schöneberg, U.
Conference Paper
1991A gas sensor system with dielectric and mass sensors
Drost, S.; Endres, H.-E.; Hutter, F.; Kößlinger, C.; Mickle, C.D.
Conference Paper
1991A physical system for chemical sensors
Drost, S.; Endres, H.-E.; Sandmaier, H.
Conference Paper
1990Elektrohydrodynamische Mikropumpe
Richter, A.; Sandmaier, H.
Conference Paper
1990Elektrohydrodynamische Mikropumpe
Richter, A.; Sandmaier, H.
Journal Article