Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2015Schädigungsmechanische Modellierung der Rissinitiierungsphase in Schweißverbindungen
Beckmann, C.; Farajian, M.; Hohe, J.; Siegele, D.
Conference Paper
2014Herausforderungen und innovative Lösungsansätze für die Mikromontage
Schlenker, Dirk
Conference Paper
20093D-Aufnahmetechnik und Kameras
Bloß, H.; Tanger, R.; Centen, P.; Damsta, K.J.; Rooy, J. van; Drazic, V.; Schubert, A.
Journal Article
2009Mechanical behavior of nickel base foams for diesel particle filter applications
Duchamp, M.; Bartout, J.-D.; Forest, S.; Bienvenu, Y.; Walther, G.; Saberi, S.; Boehm, A.
Conference Paper
2009Unsichtbares sichtbar machen
Kroll, Julia
Conference Paper
2008Machining of micro rotational parts by wire electrical discharge grinding
Uhlmann, E.; Piltz, S.; Oberschmidt, D.
Journal Article
2007Micro-mechanical external-cavity laser with wide tuning range
Geerlings, E.; Rattunde, M.; Schmitz, J.; Kaufel, G.; Wagner, J.; Kallweit, D.; Zappe, H.
Conference Paper
2006Bruchmechanik - Mit einer Einführung in die Mikromechanik. 4., bearb. Aufl.
Gross, D.; Seelig, T.
Book
2006Tribology of microsystems
Küster, R.; Bandorf, R.; Henke, C.; Lüthje, H.; Sick, J.-H.; Neumeister, C.; Phataralaoha, A.; Büttgenbach, S.; Gatzen, H.-H.; Bräuer, G.
Journal Article
2006Untersuchung der lokalen Bedingungen für die Spaltbruchauslösung in ferritischen Stählen
Hohe, J.; Friedmann, V.; Siegele, D.
Conference Paper
2005Al-Al2O3 composites with interpenetrating network structures: Composite modulus estimation
Moon, R.J.; Tilbrook, M.; Hoffmann, M.; Neubrand, A.
Journal Article
2003Geometrically nonlinear homogenization analysis of hyperelastic solid foams
Hohe, J.; Becker, W.
Journal Article
2003Kohärente Layoutsynthese und Modellbildung von skalierbaren mikroelektromechanischen Strukturen
Voßkämper, L.M.
Dissertation
2001Ein neuartiger mikromechanischer Aktor zur ein- und zweidimensionalen Ablenkung von Licht
Schenk, H.
Dissertation
2001Untersuchung und Realisierung von taktilen Sensoren in Oberflächenmikromechanik
Leineweber, M.
Dissertation
2001Untersuchungen zu einem hochauflösenden Flächenlichtmodulator mit einstellbarem Profil einer Flüssigkeitsoberfläche zur optischen Musterwiedergabe
Wolter, A.
Dissertation
2000An electrostatically excited 2D-Micro-Scanning-Mirror with an in-plane configuration of the driving electrodes
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Lakner, H.; Kück, H.
Conference Paper
2000Grundlegende Untersuchungen zur Eigenspannungsmessung im Mikrometerbereich durch Korrelation magnetischer Prüfgrößen mit experimentell ermittelten Dehnungs- und Spannungsfeldern
Altpeter, I.; Kühn, S.; Kopp, M.; Arnold, W.; Kröning, M.; Zehetbauer, M.
Conference Paper
2000Leuchtende Ablenkung: Mikromechanische 2D-Scannerspiegel erreichen 30kHz
Schenk, H.
Journal Article
2000Materialabtrag mittels Laserstrahlung zur Herstellung von dreidimensionalen Mikroformwerkzeugen aus Hartstoffen
Hellrung, D.
Dissertation
2000A spatial light modulator using moving liquid mirrors (MLM) on a CMOS active-matrix
Wolter, A.; Kirstein, K.-U.; Doleschal, W.; Kück, H.; Lakner, H.; Zimmer, G.
Conference Paper
1999Antrieb für mikromechanische Scannerspiegel
Schenk, H.; Dürr, P.; Sobe, U.
Journal Article
1999Dynamisches Verhalten von mikromechanischen Systemen unter Berücksichtigung von Nichtlinearitäten
Reitz, S.; Haase, J.; Schwarz, P.
Conference Paper
1999Flexible Montage feinwerk- und mikrotechnischer Bauteile
Müller, E.; Spingler, J.; Schraft, R.D.
Journal Article
1999A highly flexible design and production framework for modularized microelectromechanical systems
Schünemann, M.; Grosser, V.; Leutenbauer, R.; Bauer, G.; Schäfer, W.; Reichl, H.
Journal Article
1999Möglichkeiten und Grenzen der Mikrozerspanung
Wenda, A.; Beck, V.; Hüntrup, V.; Meisel, M.; Rothenburg, M.; Rübenach, O.; Schmütz, J.; Schwietering, C.; Gäbler, J.
Journal Article
1999A new driving principle for micromechanical torsional actuators
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Kück, H.
Conference Paper
1999A novel electrostatically driven torsional actuator
Schenk, H.; Dürr, P.; Kück, H.
Conference Paper
1999Technologieentwicklung für Beschleunigungssensoren und Drehratensensoren unter Nutzung von Waferbondverfahren
Wiemer, M.
Dissertation
1998Beschleunigungssensoren
Sölla, F.; Köhler, R.; Dürr, P.; Sobe, U.
Journal Article
1998A highly flexible design and production framework for modularized microelectromechanical systems
Schünemann, M.; Grosser, V.; Leutenbauer, R.; Bauer, G.; Schäfer, W.; Reichl, H.
Conference Paper
1998Integrated surface micromachined pressure sensor for high pressure applications
Dudaicevs, H.; Hell, S.; Mokwa, W.; Schmidt, M.
Conference Paper
1998Local laser supported cleaning of microelectromechanical systems and components
Schwaab, G.; Grimme, R.; Schäfer, W.
Conference Paper
1998Local laser supported cleaning of microelectromechanical systems and components
Schwaab, G.; Grimme, R.; Rockowicz, M.; Schäfer, W.
Conference Paper
1998Microtechnologies, microactuator device for lightmodulator applications
Gehner, A.; Doleschal, W.; Schwenger, L.; Kück, H.; Zimmer, G.
Conference Paper
1998Miniteile so sicher handhaben wie große
Wagner, T.
Journal Article
1998A novel tactile sensor system for heavy-load applications based on an integrated capacitive pressure sensor
Paschen, U.; Leineweber, M.; Amelung, J.; Schmidt, M.; Zimmer, G.
Journal Article
1997Anthropomorphic Tactile Sensors for Tactile Feedback Systems
Schünemann, M.
Conference Paper
1997Manufacturing Concepts and Development Trends in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Schünemann, M.; Grimme, R.; Kaufmann, T.S.; Schwaab, G.; Bader, U.; Schäfer, W.; Dorner, J.
Conference Paper
1997Modular magazine for the suitable handling of microparts in industry
Grimme, R.; Schmutz, W.; Schlenker, D.; Schünemann, M.; Stock, A.; Schäfer, W.
Conference Paper
1997Modularized Microelectromechanical Devices as Key Components for Advanced Intelligent Autonomous Sensors and Control Systems
Schünemann, M.; Grosser, V.; Leutenbauer, R.; Matuscheck, P.; Schäfer, W.; Reichl, H.
Conference Paper
1997Piezoelektrische Werkstoffe und ihre Nutzung in mikrotechnisch hergestellten Strukturen
Schönecker, Andreas; Weihnacht, M.
Journal Article
1997Water control with a microanalytical system
Drost, S.; Wörmann, W.; Richter, M.; Ross, B.; Chemnitius, G.; Köster, O.; Konz, W.; Frimmel, F.H.; Schuhmann, W.; Ferretti, R.; Meixner, L.
Conference Paper
1996Deformable micromirror devices as phase modulation high resolution light valves
Kück, H.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Grundke, W.; Melcher, R.; Paufler, J.; Seltmann, R.; Zimmer, G.
Conference Paper
1996Development Trends and Cleanroom Concepts in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Development Trends and Cleanroom Concepts in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Fabrication of acceleration sensors using a new SIMOX technology for stiction free low stress
Geiger, W.; Erlebach, A.; Köhler, R.; Kück, H.
Conference Paper
1996Mikromechanisch hergestellter Zerstäuber für kleine Flüssigkeitsmengen
Paneva, R.
Dissertation
1996Partikelmessung in der Luft und Abnahmemessung von Reinräumen
Grimme, R.; Kaufmann, T.S.
Conference Paper
1996Untersuchungen an integrierten Dünnfilmsensorarrays zur Analyse von Gasgemischen mittels statischer und dynamischer Verfahren
Werno, J.
Dissertation
1995Deformable micromirror devices as phase modulation high resolution light valves
Kück, Heinz; Doleschal, Wolfgang; Gehner, Andreas; Grundke, W.; Melcher, Rolf; Paufler, Jörg; Seltmann, Rolf; Zimmer, Günter
Conference Paper
1995Development Trends in the Industrial Production of Microsystems
Schäfer, W.; Schuenemann, M.; Grimme, R.; Grosser, V.
Conference Paper
1995Mikrosystemtechnik. Entwicklungsstand und Marktumsetzung
Mokwa, W.
Conference Paper
1995Monolithisch integrierter Drucksensor mit Ausleseelektronik
Schmidt, M.; Dudaicevs, H.; Machul, O.; Manoli, Y.; Mokwa, W.; Spiegel, E.
Conference Paper
1995Readout electronics for wide temperature range with integrated surface micromachined capacitive pressure sensor
Schmidt, M.; Spiegel, E.; Dudaicevs, H.; Manoli, Y.; Mokwa, W.
Conference Paper
1994Kleinste mechanische Elemente für die monolithische Integration in Mikrosystemen
Mokwa, W.
Journal Article
1994Mikrobaugruppen mechanisch prüfen
Michel, B.; Großer, V.
Journal Article
1994Probleme bei der Sicherung von Rezyklateigenschaften
Eisenreich, N.; Geißler, A.
Conference Paper
1994Silizium - Werkstoff der Mikrosystemtechnik
Dudaicevs, H.; Mokwa, W.
Conference Paper
1993Braucht die Mikromechanik die Reinraumtechnik?
Dorner, J.
Conference Paper
1993Herstellung von beweglichen Elementen in der mym-Skala - Surface Micromachining
Kozlowski, F.; Kühl, K.; Lang, W.
Conference Paper
1993An integrated sensor for invasive blood velocity measurement
Eichholz, J.; Langerbein, A.; Manoli, Y.; Mokwa, W.; Kersjes, R.A.
Conference Paper
1993Intelligente Sensorsysteme auf Siliziumbasis
Mokwa, W.
Conference Paper
1993Meßgeräte und Vorgehensweisen bei Abnahmemessungen in Reinräumen
Kahlden, T. von
Conference Paper
1993Potential of microelectronics for mechatronics
Hosticka, B.J.
Conference Paper
1993Verbindung und Montage - Schlüsselprobleme der Mikrosystemtechnik. Modularer Aufbau wird langfristig bleiben
Weisener, T.; Vögele, G.; Holzapfel, C.
Journal Article
1992Geringes Gewicht, kleinste Abmessungen durch Integration auf kleinstem Raum
Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger
Journal Article
1992Inbetriebnahme von Reinräumen
Kahlden, T. von
Journal Article
1992Micro optic components on silicon platforms with etched micromechanical adjusting elements.
Konz, W.; Vogel, C.
Conference Paper
1992Silicon technologies for sensor fabrication
Mokwa, W.
Book Article
1991Electrohydrodynamic pumping and flow measurement
Hofmann, K.-A.; Plettner, A.; Richter, A.; Sandmaier, H.
Conference Paper
1991Methoden zur Herstellung konvexer Ecken beim anisotropen Ätzen von 100-Silicium in wässriger KOH Lösung
Offereins, H.L.; Kühl, K.; Sandmaier, H.
Conference Paper
1991A micromachined electrohydrodynamic injection pump
Hofmann, K.-A.; Plettner, A.; Richter, A.; Sandmaier, H.
Conference Paper
1991Studie Mikromechanik
Kühl, K.; Csepregi, L.; Sandmaier, H.
Journal Article
1991Studie Mikromechanik-Komponenten und Dienstleistungsanbieter
Kühl, K.; Csepregi, L.; Sandmaier, H.
Book Article
1990An electrodynamic injection pump - a novel actuator for microsystem technology
Plettner, A.; Richter, A.; Sandmaier, H.
Conference Paper
1990An electrohydrodynamic micropump
Richter, A.; Sandmaier, H.
Conference Paper
1990Electrohydrodynamic micropumps
Richter, A.
Conference Paper
1990Neue Entwicklung in der Mechatronik durch Einsatz der Mikroelektronik
Mokwa, W.; Zimmer, G.
Conference Paper
1990Novel stress free assembly technique for micromechanical services.
Offereins, H.L.; Sandmaier, H.
Conference Paper
1989Mikromechanik der Rißausbreitung in Polymerwerkstoffen. Neue Wege zur Werkstoffcharakterisierung
Könczöl, L.
Conference Paper
1988Thermally excited silicon microactuators
Benecke, W.; Riethmüller, W.
Journal Article
1987Maskenherstellung mit Hilfe der Mikromechanik
Csepregi, L.
Conference Paper
1987Micromechanical silicon actuators based on thermal expansion effects
Heuberger, A.; Schnakenberg, U.; Benecke, W.; Riethmüller, W.
Conference Paper
1987Optically excited and interrogated micromechanical silicon cantilever structure
Woelfelschneider, H.; Knoll, G.; Ramakrishnan, S.; Hoefflin, H.; Kist, R.
Conference Paper
1987Optically excited mechanical vibrations in micromachined silicon cantilever structures
Heuberger, A.; Schnakenberg, U.; Wölfelschneider, H.; Knoll, G.; Ramakrishnan, S.; Höfflin, H.; Benecke, W.; Kist, R.; Riethmüller, W.
Conference Paper

 

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