Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2000From Modular MEMS to a Modular Microfactory - the Hybrid Microfactory?
Großer, V.; Michel, B.; Schünemann, M.; Reichl, H.
Conference Paper
1998Produktionstechnik für Mikrosysteme 1998
 
Conference Proceedings
1997Anthropomorphic Tactile Sensors for Tactile Feedback Systems
Schünemann, M.
Conference Paper
1997Manufacturing Concepts and Development Trends in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Schünemann, M.; Grimme, R.; Kaufmann, T.S.; Schwaab, G.; Bader, U.; Schäfer, W.; Dorner, J.
Conference Paper
1996Development Trends and Cleanroom Concepts in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Development Trends and Cleanroom Concepts in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen (MikroFAB)
Grimme, R.
Conference Paper
1996Microfabrication techniques for microsystems - mu m Fab - and first practical experience
Grosser, V.; Hillmann, V.; Reichl, H.; Grimme, R.
Conference Paper
1996Mikrofab - Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme
Schünemann, M.; Grimme, R.; Schwaab, G.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme - MikroFAB -
 
Conference Proceedings
1996Modular System for Laser Microfabrication
Grimme, R.; Hillmann, V.; Jürss, M.; Otschik, P.; Poßner, T.
Conference Paper
1996Produktionstechnik für Mikrosysteme
 
Conference Proceedings
1996Sensors/Actuators of the functional ceramics based on Sol-Gel technique for microsystems
Grimme, R.; Otschik, P.; Gesemann, H.J.
Conference Paper
1996A Versatile Spray-Spin-Tool for Wet Chemistry Processes in a Microfabrication Line
Kluge, A.; Grimme, R.
Conference Paper
1995Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme
 
Conference Proceedings