Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
 Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Publications
 
Journal
2019Reliability testing and stress measurement of QFN packages encapsulated by an open-ended microwave curing system
Adamietz, Raphael; Desmulliez, Marc P.Y.; Pavuluri, Sumanth Kumar; Tilford, Tim; Bailey, Chris; Schreier-Alt, Thomas; Warmuth, Jens
Journal Article
2018Automated, modular hybrid AM machine for 3D printed electrical microsystems
Janhsen, Jan Christoph; Refle, Oliver; Burgard, Matthias; Günthel, Jessica; Calderon, Ivan
Conference Paper
2018Open Transfer
: Häußermann, Johann J.; Heidingsfelder, Marie; Muschner, Antonia; Schroth, Fabian; Sinell, Anna; Zimmermann, Karin; Nick, Aljoscha
Report
2014Fraunhofer cluster 3D integration
Wolf, M. Jürgen; Schulz, Stefan; Schneider, Peter; Zschech, Ehrenfried
Conference Paper
2013Galvanik in der Mikrosystemtechnik
Vogt, Holger; Heiermann, Wolfgang; Heß, Jennifer
Journal Article
2012A microwave curing system for microelectronics assembly
Adamietz, Raphael; Tilford, Tim; Ferenets, Marju; Pavuluri, Sumanth Kumar; Desmulliez, Marc P.Y.; Bailey, Chris
Conference Paper
2011Assessment of the accuracy of cure kinetics models and fitting approaches utilised in analysis of microelectronics encapsulation materials
Tilford, Tim; Ferenets, Marju; Adamietz, Raphael; Pavuluri, Sumanth Kumar; Desmulliez, Marc P.Y.; Bailey, Chris
Conference Paper
2011Modulares Steuerungskonzept für integrierte Messtechnik in der Halbleiterfertigung am Beispiel einer Mehrkammerprozessanlage
Schellenberger, Martin
: Ryssel, H.; Frey, L.
Dissertation
2011Post cure behaviour of encapsulants for QFN packages processed by an open-ended single mode resonant microwave applicator
Pavuluri, Sumanth Kumar; Desmulliez, Marc P.Y.; Goussetis, George; Arrighi, Valeria; Johnston, K.; Adamietz, Raphael; Tilford, Tim; Bailey, Chris
Conference Paper
2011Untersuchung der Auflösungsgrenzen eines Variablen Formstrahlelektronenschreibers mit Hilfe chemisch verstärkter und nicht verstärkter Negativlacke
Steidel, K.
Dissertation
2010Chemische Gasphasenabscheidung von Metallsilicatschichten aus Einquellen-Ausgangsstoffen für Anwendungen in der Mikroelektronik
Lemberger, M.
Dissertation
2010Entwicklung und Aufbau einer Monitorstruktur für Lotkontakte bei kombinierter Belastung
Eckert, T.
Dissertation
2009Reines Equipment. Mit Strömungssimulation Kontaminationsquellen vermeiden
Bürger, Frank
Journal Article
2009Reinraumtechnik bei der Herstellung von Medizinprodukten
Harscher, Alexander; Kreck, Guido; Schweizer, Marion
Book Article
2008Mechanical and barrier properties of thin oxide films on flexible polymer substrates
Fahlteich, J.; Schönberger, W.; Meyer, B.; Fahland, M.; Schiller, N.
Conference Paper
2008MiNat Hot Spots 2008
: Gommel, Udo (Organisation); Keller, Markus (Organisation)
Conference Proceedings
2008Spectroscopic ellipsometry and ellipsometric porosimetry studies of CVD low-k dielectric films
Marsik, P.; Verdonck, P.; Schneider, D.; Roest, D. de; Kaneko, S.; Baklanov, M.R.
Conference Paper, Journal Article
200750 Jahre Fraunhofer IAF. Heller-schneller-stärker
 
Book
2007Application of ceramic technology for cost effective manufacturing of small fuel cell systems
Michaelis, A.
Conference Paper
2007A charging unit based on micro-PEM-fuel cells in LTCC technology
Goldberg, A.; Partsch, U.; Stelter, M.
Conference Paper
2007Influence of matrix viscoelastic properties on thermal conductivity of TCA - Numerical approach
Falat, T.; Wymyslowski, A.; Kolbe, J.; Jansen, K.M.B.; Ernst, L.
Journal Article
2007Inkjettable conductive adhesive for use in microelectronics and microsystems technology
Kolbe, J.; Arp, A.; Calderone, F.; Meyer, E.M.; Meyer, W.; Schäfer, H.; Stuve, M.
Journal Article
2006Interface-Risse in Komponenten der Mikro- und Nanoelektronik
Auersperg, J.; Michel, B.; Walter, H.
Conference Paper
2006Microtribological behaviour of thin DLC films using different testing methods
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Staedler, T.
Journal Article
2005Festsymposium 20 Jahre Fraunhofer IIS - Anwendungen der Mikroelektronik in der Informations- und Kommunikationstechnik
Gerhäuser, H.; Günther, C.; Glesner, M.; Ewert, U.; Chiariglione, L.; Paradiso, J.A.
: Gerhäuser, H.
Book
2004Analytik für die Prozesstechnik
Gemmler, A.
Conference Paper
2004Intelligente Roboterwerkzeuge für Fügeprozesse
Schraft, R.D.; Weis, C.; Wiedenhöfer, M.
Conference Paper
2004Morphologie-Zähigkeits-Korrelationen von modifizierten Epoxidharzen mittels bruchmechanischer Prüfmethoden an Miniaturprüfkörpern
Walter, H.
Book
2004Robustness evaluation and improvement method for automated material handling systems
Sturm, R.; Reddig, K.; Glüer, D.
Journal Article
2004Zielgenaue Präparation von Proben für die Transmissionselektronenmikroskopie
Altmann, F.; Katzer, D.
Journal Article
2003AMHS simulation for fast manufacturing ramp-up
Sturm, R.; Reddig, K.
Conference Paper
2003FIB-Zielpräparation von TEM-Proben mittels Nadelmanipulationstechnik
Altmann, F.
Journal Article
2003Materialflussautomatisierung in der Mikrochipfertigung
Sturm, R.; Seidelmann, J.; Reddig, K.
Journal Article
2003MICRO.tec 2003: Applications - trends - visions. Proceedings
: Büttgenbach, S.; Westkämper, E.
Conference Proceedings
2003Quo vadis Fertigungstechnik
Westkämper, E.
Conference Paper
2003Systemzuverlässigkeit sicherheitskritischer Mikropositioniersysteme
Hanselka, H.; Bein, T.; Melz, T.
Conference Paper
2003Transition and developments of 300mm-AMHS simulation models
Reddig, K.; Sturm, R.
Conference Paper
2002Modell zum Sortieren und Speichern von Einzelscheiben für die Fertigung integrierter Schaltkreise
Kaufmann, T.
Dissertation
2002Modell zur Prozessflussspezifikation für die Fertigung integrierter Schaltkreise
Frauenhoffer, F.
Dissertation
2001ASMC 2001. CD-ROM
: Kaufmann, T.
Conference Proceedings
2001Integrated metrology. An enabler for advanced process control (APC)
Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.
Conference Paper
2000Mikroelektronik für die Mobilkommunikation
Jung, P.
Conference Paper
2000The moving liquid mirror (MLM) spatial light modulator
Wolter, A.; Lakner, H.; Doleschal, W.; Zimmer, G.
Conference Paper
2000Ein objektorientiertes Hardware-Beschreibungs- und Synthese-System zum wiederverwendungsbasierten Entwurf integrierter digitaler Schaltungen
Heuser, O.
Dissertation
1999A highly flexible design and production framework for modularized microelectromechanical systems
Schünemann, M.; Grosser, V.; Leutenbauer, R.; Bauer, G.; Schäfer, W.; Reichl, H.
Journal Article
1999Nondestructive analytical tools for characterization of thin titanium silicide films prepared by conventional and direct step silicidation with enhanced transition
Kal, S.; Ryssel, H.
Journal Article
1999Untersuchungen von Reinheitssystemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten
Schließer, J.
Dissertation
1999A View to the Future - A Modular Simulation Kit for Cost-Efficient Fab-Wide Planning and the Simulation of Automated Material Handling Systems in the Semiconductor Industry
Bader, U.; Besler, A.; Schließer, J.; Dorner, J.
Conference Paper
1998Cost Efficient Future Automation and Transport Concepts
Bader, U.; Dorner, J.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Garbers, M.
Conference Paper
1998A highly flexible design and production framework for modularized microelectromechanical systems
Schünemann, M.; Grosser, V.; Leutenbauer, R.; Bauer, G.; Schäfer, W.; Reichl, H.
Conference Paper
1998Local laser supported cleaning of microelectromechanical systems and components
Schwaab, G.; Grimme, R.; Schäfer, W.
Conference Paper
1998Local laser supported cleaning of microelectromechanical systems and components
Schwaab, G.; Grimme, R.; Rockowicz, M.; Schäfer, W.
Conference Paper
1998Mikroskopische Techniken zur Materialanalys
Meyendorf, N.; Altpeter, I.; Fassbender, S.; Reiter, H.; Netzelmann, U.
Conference Paper
1998Miniaturisierte, verlustleistungsarme Ansteuer- und Ausleseelektronik für einen bildgebenden Ultraschall-Katheter
Schmidt, M.
Dissertation
1998Modularization of Microsystems and Standardization of Interfaces
Schünemann, M.; Bauer, G.; Schäfer, W.; Leutenbauer, R.; Grosser, V.; Reichl, H.
Conference Paper
1998A novel tactile sensor system for heavy-load applications based on an integrated capacitive pressure sensor
Paschen, U.; Leineweber, M.; Amelung, J.; Schmidt, M.; Zimmer, G.
Journal Article
1998Oxide layer thickness measurement
Schneider, C.
Journal Article
19973D simulation for sub-micron metallization
Bär, E.; Lorenz, J.; Ryssel, H.
Journal Article, Conference Paper
1997Aktiv-Matrix-Ansteuerungen für Projektions-Displays
Melcher, R.
Dissertation
1997Anthropomorphic Tactile Sensors for Tactile Feedback Systems
Schünemann, M.
Conference Paper
1997Fertigung von Mischlosen in der Mikroelektronik auf der Basis eines Verfahrens zur Verfolgung von Einzelscheiben
Herzog, O.
Dissertation
1997Flexible Automation Concepts
Bader, U.; Dorner, J.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.
Journal Article
1997Galliumarsenid-Technologie
Wessel, H.
Journal Article
1997Manufacturing Concepts and Development Trends in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Schünemann, M.; Grimme, R.; Kaufmann, T.S.; Schwaab, G.; Bader, U.; Schäfer, W.; Dorner, J.
Conference Paper
1997Mechatronic System Techniques for Robots for Service Application Systems
Schraft, R.D.; Hägele, M.; Heni, M.
Book
1997Modular magazine for the suitable handling of microparts in industry
Grimme, R.; Schmutz, W.; Schlenker, D.; Schünemann, M.; Stock, A.; Schäfer, W.
Conference Paper
1997Modularized Microelectromechanical Devices as Key Components for Advanced Intelligent Autonomous Sensors and Control Systems
Schünemann, M.; Grosser, V.; Leutenbauer, R.; Matuscheck, P.; Schäfer, W.; Reichl, H.
Conference Paper
1997Prozess- und Produktionsdatenerfassung in der Elektronik- und Mikroelektronikproduktion
: Kaufmann, T.
Conference Proceedings
1997Technology Transfer Systems in the United States and Germany
: Schmoch, U.; Abramson, H.N.; Encarnacao, J.L.; Reid, P.
Book
19963. Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen mit dem Schwerpunkt Methoden zum Entwurf, zur Integration und Parametrisierung von Komponenten für applikationsspezifische integrierte Mikrosysteme 1996. Tagungsband
: Glesner, M.; John, W.
Conference Proceedings
1996Adhesive Gripper - a New Tool for Microassembly
Bark, C.; Vögele, G.; Weisener, T.
Conference Paper
1996Analoge FPGA in BiCMOS-Technologie für die Signalverarbeitung
Bender, S.; Brockherde, W.; Budde, W.; Kokozinski, R.
Journal Article
1996Analoge FPGAs in BiCMOS-Technologie für die analoge Signalverarbeitung
Bender, Steffen; Budde, Wolfram; Kokozinski, Rainer
Conference Paper
1996EMP and EMAC conference
Seitzer, D.
Conference Paper
1996Gerotor im Mini-Format
Vögele, G.; Bark, C.; Weisener, T.; Widmann, M.
Journal Article
1996Greifen mit Flüssigkeiten
Bark, C.; Vögele, G.; Weisener, T.
Journal Article
1996Hardware/software-cosimulation for mechatronic system design
Pelz, G.; Bielefeld, J.; Hess, K.G.; Zimmer, G.
Conference Paper
1996Kleben - eine zukunftsweisende Aufbau- und Verbindungstechnik für die Mikroelektronik?
Heßland, A.; Schäfer, H.
Conference Paper
1996Mechatronic system simulation based on analog and digital hardware description languages
Pelz, G.; Bielefeld, J.; Hess, K.G.; Zimmer, G.
Conference Paper
1996Neue Förderung von Mikroelektronik in der Produktentwicklung
Cepl, F.
Journal Article
1996Partikelmessung in der Luft und Abnahmemessung von Reinräumen
Grimme, R.; Kaufmann, T.S.
Conference Paper
1996A precision current source in SIMOX technology for high temperature applications up to 570 K
Verbeck, M.; Fiedler, H.-L.
Conference Paper
1995Development Trends in the Industrial Production of Microsystems
Schäfer, W.; Schuenemann, M.; Grimme, R.; Grosser, V.
Conference Paper
1995Digitaltechnik in Rundfunk (DAB) und Fernsehen
Seitzer, D.
Journal Article
1995Entwurf und Erprobung eines mikroelektronischen Systems zur Realisierung eines Bildberarbeitungsalgorithmus
März, H.
Thesis
1995Future Smif-Integration for Semiconductor Fabrication
Herzog, O.; Klumpp, B.; Schließer, J.
Conference Paper
1995Lasergestützte Aufbau- und Verbindungsverfahren in der Mikrosystemtechnik
Kreutz, E.W.; Gillner, A.
Conference Paper
1995Laserschweißung für Kunststoffe
Pütz, H.; Treusch, H.G.
Journal Article
1995Meßtechnikapplikationen im Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme, IMS2, Dresden
Werner, W.-D.
Journal Article
1995Moderne Instandhaltungstechniken
 
Conference Proceedings
1995Möglichkeiten der Hochleistungsdiodenlaser. Eine neue Strahlquelle für die Werkstoffbearbeitung mit Laserstrahlung
Treusch, H.G.
Journal Article
1995Schlüssel zur Wettbewerbsfähigkeit: Beherrschung von Information und Kommunikation
Warnecke, H.-J.
Conference Paper
1995Strategische Ansätze für den Maschinenbau aus der Mikroelektronik und Informationstechnik
Dorner, J.; Müllerschön, J.; Fode, P.
Book
1994Advantages and potential of SOI structures for smart sensors
Vogt, H.
Conference Paper
1994ASIC für kleine und mittlere Unternehmen
Seitzer, D.
Book Article
1994Automatischer Abgleichalgorithmus für integrierte CMOS-Drucksensoren mit on-chip Programmierung.
Schlichting, V.; Lossy, R.; Graf, N.; Obermeier, E.; Hammerschmidt, D.; Schnatz, F.V.; Hosticka, B.J.
Conference Paper
1994CMOS magnetic-field sensor system
Sprotte, A.; Buckhorst, R.F.; Brockherde, W.; Hosticka, B.J.; Bosch, D.
Conference Paper
1994Deutschland steckt in einer Innovations- und Kommunikationskrise
Warnecke, H.-J.
Journal Article
1994Entwicklung eines integrierten CMOS-kompatiblen Sensorsystems zur Messung der elektrolytischen Leitfähigkeit
Kordas, N.
Dissertation
1994Das europäische Mikroelektronikprogramm Jessi auf Erfolgskurs
Ryssel, H.
Journal Article
1994The Fraunhofer-institute for integrated circuits - Bridging the gap between microelectronics technology and applications
Seitzer, D.
Conference Paper
1994Fugen in kleinsten Dimensionen - Einsatz der Klebetechnik in der Mikroelektronik
Schäfer, H.; Groß, A.; Hennemann, O.-D.
Journal Article
1994High Performance Gold Plating for Microdevices
Gemmler, A.; Keller, W.; Richter, H.; Rueß, K.
Journal Article
1994Magnetfeldsensorsystem in integrierter CMOS-Technologie
Sprotte, A.; Brockherde, W.; Hosticka, B.J.; Buckhorst, R.F.; Bosch, D.
Conference Paper
1994MGS, Generierung von Ansteuerdaten für ZBA-ebeam Schreiber
Bätz, U.; Kreißig, B.; Kunze, K.; Lingner, T.
Conference Paper
1994Mikroelektronik, eine Schlüsseltechnologie im Umweltschutz
Angerer, G.
Book Article
1994Mikroelektronische Realisierung des wissensbasierten analytischen Regelverfahrens mit dem Rapid-Prototype-Co-Emulator
Berndt, T.
Thesis
1994Ein monolithisch integriertes CMOS-Drucksensorsystem mit Temperaturkompensation und On-Chip gespeicherten Kalibrationsdaten
Hammerschmidt, D.; Schnatz, F.V.; Brockherde, W.; Hosticka, B.J.; Schlichting, V.; Obermeier, E.
Conference Paper
1994Neue Impulse für Medizin und Umwelttechnik
Höch, A.; Rospert, M.
Journal Article
1994Pattern matching and refinement hybrid approach to circuit comparison
Pelz, G.; Röttcher, U.
Journal Article
1994Technologievorausschau - Mikroelektronik
Wessel, H.
Book
1994Temperaturkompensation von Sensorsystemen durch CMOS-Schaltungen
Hammerschmidt, D.; Sprotte, A.; Schnatz, F.V.; Brockherde, W.; Hosticka, B.J.; Dura, H.-G.; Dudaicevs, H.; Mokwa, W.
Conference Paper
1993ASIC für kleine und mittlere Unternehmen
Seitzer, D.
Journal Article
1993Chancen außerhalb der Chip-Produktion - Verbundprojekt förderte Kooperation zur Gerätespezifikation und zeigte Entwicklungsschwerpunkte auf. Hersteller von Fertigungsgeräten für die Mikroelektronik suchen nach neuen Märkten
Schäfer, W.
Journal Article
1993CMOS magnetic-field sensor system
Sprotte, A.; Buckhorst, R.F.; Brockherde, W.; Bosch, D.; Hosticka, B.J.
Conference Paper
1993Determination of EBIC response by two-dimensional device simulation
Erlebach, A.; Stephan, R.; Dallmann, G.
Conference Paper
1993Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Tätigkeitsbericht 1992
 
Annual Report
1993Fuzzy-Chiptemperaturregelung. Inbetriebnahme und Auswertung eines Demonstrators
Presberger, T.
Thesis
1993Halbleiterfertigungsgeräte und -materialien bilden eine wichtige Voraussetzung für die moderne IC-Herstellung
Ryssel, H.
Journal Article
1993Ein integriertes Programmsystem zur strukturellen Verifikation mikroelektronischer Schaltungsentwürfe
Pelz, G.
Book
1993Intelligente Sensorsysteme auf Siliziumbasis
Mokwa, W.
Conference Paper
1993Meßgeräte und Vorgehensweisen bei Abnahmemessungen in Reinräumen
Kahlden, T. von
Conference Paper
1993Mikrostrukturen - Prozeßwissen erlaubt höchste Präzision
Gemmler, A.; Keller, W.; Richter, H.; Rueß, K.
Journal Article
1993Moderne Strategien -test tailoring- in der Prüftechnik für Korrosionsuntersuchungen in der Mikroelektronik
Ziegahn, K.-F.; Reichert, T.F.
Journal Article
1993The opportunities to combine electronic functions at high temperature
Burbach, G.
Conference Paper
1993Potential of microelectronics for mechatronics
Hosticka, B.J.
Conference Paper
1993Schnelle Testverfahren zur Charakterisierung von Ausbeute und Zuverlässigkeit hochintegrierter Leitbahnsysteme
Dreizner, A.; Kück, H.; Lukat, K.; Pahlitzsch, J.
Conference Paper
1993Test monolithischer Sensorsysteme
Dudaicevs, H.; Gottfried-Gottfried, R.
Journal Article
1993Untersuchung grundlegender Probleme bei der Automatisierung und Optimierung von Elektronenstrahltest -EST- Systemen
Weichert, G.
Dissertation
1993Verbindung und Montage - Schlüsselprobleme der Mikrosystemtechnik. Modularer Aufbau wird langfristig bleiben
Weisener, T.; Vögele, G.; Holzapfel, C.
Journal Article
1993World-beaters in GaAs electronics.
Diehl, R.
Journal Article
1992AEM-Untersuchungen an Grenzschichten in elektrisch leitfähigen Klebverbindungen
Schäfer, H.; Gesang, T.; Hennemann, O.-D.; Eys, H. von
Conference Paper
1992Austausch von Entwurfsdaten in der Mikroelektronik mit EDIF. Eine Einführung in die Konzepte und Anwendungsmöglichkeiten von EDIF - Die Rolle von EDIF im Umfeld nationaler und internationaler Normen zur Produktmodellierung
Ungerer, M.
Book
1992Entwicklung neuartiger Umhüllmassen für die Mikroelektronik
Gesang, T.; Hennemann, O.-D.
Journal Article
1992Entwicklung neuartiger Umhüllmassen für die Mikroelektronik
Gesang, T.; Hennemann, O.-D.
Journal Article
1992High performance gold plating for microdevices
Gemmler, A.; Keller, W.
Conference Paper
1992Inbetriebnahme von Reinräumen
Kahlden, T. von
Journal Article
1991Annealing of far infrared photoconductors with infrared diode lasers.
Wolf, J.; Lemke, D.; Schießl, U.; Tacke, M.; Schiessl, U.
Book Article
1991Elektrisch leitfähige Klebverbindungen in der Mikroelektronik
Gesang, T.; Hennemann, O.-D.; Schäfer, H.
Journal Article
1991Elektrisch leitfähige Klebverbindungen in der OMB-Technik
Gesang, T.; Hennemann, O.-D.; Schäfer, H.
Conference Paper
1991Elektrisch leitfähige Klebverbindungen in der OMB-Technik
Gesang, T.; Hennemann, O.-D.; Schäfer, H.
Conference Paper
1991Materialienbände zum Buch Mikroelektronik im Umweltschutz. Ergebnisse der Studie "Beitrag der Mikroelektronik zum Umweltschutz". In 6 Bänden
: Angerer, G.; Hiessl, H.
Study
1991Mikroelektronik im Umweltschutz. Anwendungen, Chancen, Forschungs- und Entwicklungsbedarf. Ergebnisse der Studie "Beitrag der Mikroelektronik zum Umweltschutz". Kurzfassung
Angerer, G.; Hiessl, H.
Study
1991Nanokristalline Materialien
Kunze, H.-D.
Journal Article
1991Überblick und Haupttrends im Bereich Halbleitermaterialien und -technologien
Kersten, G.
Book
1991Umweltschutz durch Mikroelektronik, Anwendungen, Chancen, Forschungs- und Entwicklungsbedarf
: Hiessl, H.; Angerer, G.; Fiedler, H.-L.; Mokwa, W.
Book
1991Die Zukunft der Telekommunikation im Bankensektor. Entwicklungstrends und Rahmenbedingungen der Telekommunikation
König, R.
Journal Article
1990Fertigen im Reinraum. Probleme und Lösungsansätze
Kahlden, T. von; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Journal Article
1990Klebtechnologie, insbesondere elektrisch leitfähiges Kleben, in der Mikrosystemtechnik
Gesang, T.; Hennemann, O.-D.; Schäfer, H.
Conference Paper
1990Leitsysteme für die Halbleiterfertigung. Praxisnahe Forschungsförderung am IPA
Sauter, K.-D.
Journal Article
1990Neue Entwicklung in der Mechatronik durch Einsatz der Mikroelektronik
Mokwa, W.; Zimmer, G.
Conference Paper
1990Rationelle Energienutzung und Energiekostensenkung durch Telematik
Jochem, E.; Zoche, P.
Book Article
1989Prozeßtechnische Aspekte fortschrittlicher Halbleiterfertigungsgeräte
Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Schmutz, W.
Journal Article
1988TUEV fuer Reinraeume. Pruefzentrum im IPA untersucht Reinraumtauglichkeit
Klumpp, B.; Schmutz, W.
Journal Article
1988Zum Wechselspiel zwischen Mikroelektronik und Informatik
Seitzer, D.
Conference Paper
1987Anwendungsmöglichkeiten der Klebtechnik in der Mikroelektronik
Hennemann, O.-D.
Conference Paper
1987Fortschritte bei der Automatisierung der Werkstoffproduktion
Mehlhorn, L.
Journal Article, Conference Paper
1987Trends bei FTS, die sich von Leitmedien loesen koennen
Brock, W.
Journal Article
1986Anwendung des Lasers zur Herstellung neuer Strukturen für die Mikroelektronik.
Vogt, H.; Zimmer, G.
Journal Article
1986Mikroelektronik - Anwendung zur rationellen Energienutzung in Gebaeuden
Jochem, E.
Book
1986Mikroelektronik in der industriellen Verwaltung - die Weiterbildung in der kaufmaennischen Sachbearbeitung. Workshop am 5.und 6.Dezember 1985
: Treiber, H.; Behrens, A.
Book
1986Mikroelektronik und Reinraumtechnik
Ryssel, H.
Conference Paper
1985Entwicklungen und Forschungsaktivitäten im Sonderforschungsbereich (SFB) 11, Materialflußsysteme (Stückgut-Förderung)
Dienhart, U.
Conference Paper
1985Mikroelektronik - Auswirkungen auf Produkte und Produktionen
Warnecke, H.-J.
Journal Article
1985Steuerung von FTS - Stand der Technik und Neuentwicklungen
Brock, Werner
Conference Paper
1984Angewandte Sensorik und Mikroelektronik am Beispiel eines Praezisionsmessgeraetes
Basse, J.; Eissler, W.
Book Article
1984Angewandte Sensorik und Mikroelektronik am Beispiel eines Praezisionsmessgeraetes
Eissler, W.
Journal Article
1984Mikroelektronik-kompatible Sensoren fuer den Maschinenbau
Hesse, J.; Juckenack, D.
Book Article
1984Mikroelektronik-kompatible Sensoren fuer den Maschinenbau
Hesse, J.; Juckenack, D.
Journal Article
1983Auswahl von Arbeitskraeften beim Einsatz von CNC-Werkzeugmaschinen
Lay, G.; Rempp, H.
Book Article
1983Die Elektronik in der Medizin
Ruge, I.
Book Article
1983Energieeinsparung durch Mikroelektronik
Diehl, R.; Goetzberger, A.; Mannsbart, W.; Jochem, E.
Journal Article
1983Qualifikationsveraenderungen bei der Einfuehrung und beim Einsatz der Mikroelektronik im Betrieb
Lay, G.
Book Article
1983Rationelle Nutzung der Elektroenergie in der Antriebstechnik
Diehl, R.
Journal Article
1983Sensoren als Grundelemente der Automatisierungstechnik
Hesse, J.
Conference Paper
1982Energieeinsparung durch Mikroelektronik
Diehl, R.
Journal Article
1982Engpass Sensoren
Diehl, R.
Journal Article
1982Moeglichkeiten der Energieeinsparung durch die Mikroelektronik
Oswald, D.
Book
1981Einflüsse der Mikroelektronik auf Betriebsabläufe und Qualifikation beim Maschinenhersteller
Bullinger, H.-J.; Schlauch, R.; Hachtel, G.
Conference Paper
1981Industrielle Anwendung der Mikroelektronik. Bericht zur Hannover-Messe 1981
Heilig, L.
Journal Article
1980Mikroelektronik in der Montage- und Handhabungstechnik. Entwicklungen und Tendenzen
Ahrens, U.
Conference Paper