Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
 Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Publications
 
Journal
2019Reliability testing and stress measurement of QFN packages encapsulated by an open-ended microwave curing system
Adamietz, Raphael; Desmulliez, Marc P.Y.; Pavuluri, Sumanth Kumar; Tilford, Tim; Bailey, Chris; Schreier-Alt, Thomas; Warmuth, Jens
Journal Article
2018Automated, modular hybrid AM machine for 3D printed electrical microsystems
Janhsen, Jan Christoph; Refle, Oliver; Burgard, Matthias; Günthel, Jessica; Calderon, Ivan
Conference Paper
2018Open Transfer
: Häußermann, Johann Jakob; Heidingsfelder, Marie; Muschner, Antonia; Schroth, Fabian; Sinell, Anna; Zimmermann, Karin; Nick, Aljoscha
Report
2014Fraunhofer cluster 3D integration
Wolf, M. Jürgen; Schulz, Stefan; Schneider, Peter; Zschech, Ehrenfried
Conference Paper
2013Galvanik in der Mikrosystemtechnik
Vogt, Holger; Heiermann, Wolfgang; Heß, Jennifer
Journal Article
2012A microwave curing system for microelectronics assembly
Adamietz, Raphael; Tilford, Tim; Ferenets, Marju; Pavuluri, Sumanth Kumar; Desmulliez, Marc P.Y.; Bailey, Chris
Conference Paper
2011Assessment of the accuracy of cure kinetics models and fitting approaches utilised in analysis of microelectronics encapsulation materials
Tilford, Tim; Ferenets, Marju; Adamietz, Raphael; Pavuluri, Sumanth Kumar; Desmulliez, Marc P.Y.; Bailey, Chris
Conference Paper
2011Modulares Steuerungskonzept für integrierte Messtechnik in der Halbleiterfertigung am Beispiel einer Mehrkammerprozessanlage
Schellenberger, Martin
: Ryssel, H.; Frey, L.
Dissertation
2011Post cure behaviour of encapsulants for QFN packages processed by an open-ended single mode resonant microwave applicator
Pavuluri, Sumanth Kumar; Desmulliez, Marc P.Y.; Goussetis, George; Arrighi, Valeria; Johnston, K.; Adamietz, Raphael; Tilford, Tim; Bailey, Chris
Conference Paper
2011Untersuchung der Auflösungsgrenzen eines Variablen Formstrahlelektronenschreibers mit Hilfe chemisch verstärkter und nicht verstärkter Negativlacke
Steidel, K.
Dissertation
2010Chemische Gasphasenabscheidung von Metallsilicatschichten aus Einquellen-Ausgangsstoffen für Anwendungen in der Mikroelektronik
Lemberger, M.
Dissertation
2010Entwicklung und Aufbau einer Monitorstruktur für Lotkontakte bei kombinierter Belastung
Eckert, T.
Dissertation
2009Reines Equipment. Mit Strömungssimulation Kontaminationsquellen vermeiden
Bürger, Frank
Journal Article
2009Reinraumtechnik bei der Herstellung von Medizinprodukten
Harscher, Alexander; Kreck, Guido; Schweizer, Marion
Book Article
2008Mechanical and barrier properties of thin oxide films on flexible polymer substrates
Fahlteich, J.; Schönberger, W.; Meyer, B.; Fahland, M.; Schiller, N.
Conference Paper
2008MiNat Hot Spots 2008
: Gommel, Udo (Organisation); Keller, Markus (Organisation)
Conference Proceedings
2008Spectroscopic ellipsometry and ellipsometric porosimetry studies of CVD low-k dielectric films
Marsik, P.; Verdonck, P.; Schneider, D.; Roest, D. de; Kaneko, S.; Baklanov, M.R.
Conference Paper, Journal Article
200750 Jahre Fraunhofer IAF. Heller-schneller-stärker
 
Book
2007Application of ceramic technology for cost effective manufacturing of small fuel cell systems
Michaelis, A.
Conference Paper
2007A charging unit based on micro-PEM-fuel cells in LTCC technology
Goldberg, A.; Partsch, U.; Stelter, M.
Conference Paper
2007Influence of matrix viscoelastic properties on thermal conductivity of TCA - Numerical approach
Falat, T.; Wymyslowski, A.; Kolbe, J.; Jansen, K.M.B.; Ernst, L.
Journal Article
2007Inkjettable conductive adhesive for use in microelectronics and microsystems technology
Kolbe, J.; Arp, A.; Calderone, F.; Meyer, E.M.; Meyer, W.; Schäfer, H.; Stuve, M.
Journal Article
2006Interface-Risse in Komponenten der Mikro- und Nanoelektronik
Auersperg, J.; Michel, B.; Walter, H.
Conference Paper
2006Microtribological behaviour of thin DLC films using different testing methods
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Staedler, T.
Journal Article
2005Festsymposium 20 Jahre Fraunhofer IIS - Anwendungen der Mikroelektronik in der Informations- und Kommunikationstechnik
Gerhäuser, H.; Günther, C.; Glesner, M.; Ewert, U.; Chiariglione, L.; Paradiso, J.A.
: Gerhäuser, H.
Book
2004Analytik für die Prozesstechnik
Gemmler, A.
Conference Paper
2004Intelligente Roboterwerkzeuge für Fügeprozesse
Schraft, R.D.; Weis, C.; Wiedenhöfer, M.
Conference Paper
2004Morphologie-Zähigkeits-Korrelationen von modifizierten Epoxidharzen mittels bruchmechanischer Prüfmethoden an Miniaturprüfkörpern
Walter, H.
Book
2004Robustness evaluation and improvement method for automated material handling systems
Sturm, R.; Reddig, K.; Glüer, D.
Journal Article
2004Zielgenaue Präparation von Proben für die Transmissionselektronenmikroskopie
Altmann, F.; Katzer, D.
Journal Article
2003AMHS simulation for fast manufacturing ramp-up
Sturm, R.; Reddig, K.
Conference Paper
2003FIB-Zielpräparation von TEM-Proben mittels Nadelmanipulationstechnik
Altmann, F.
Journal Article
2003Materialflussautomatisierung in der Mikrochipfertigung
Sturm, R.; Seidelmann, J.; Reddig, K.
Journal Article
2003MICRO.tec 2003: Applications - trends - visions. Proceedings
: Büttgenbach, S.; Westkämper, E.
Conference Proceedings
2003Quo vadis Fertigungstechnik
Westkämper, E.
Conference Paper
2003Systemzuverlässigkeit sicherheitskritischer Mikropositioniersysteme
Hanselka, H.; Bein, T.; Melz, T.
Conference Paper
2003Transition and developments of 300mm-AMHS simulation models
Reddig, K.; Sturm, R.
Conference Paper
2002Modell zum Sortieren und Speichern von Einzelscheiben für die Fertigung integrierter Schaltkreise
Kaufmann, T.
Dissertation
2002Modell zur Prozessflussspezifikation für die Fertigung integrierter Schaltkreise
Frauenhoffer, F.
Dissertation
2001ASMC 2001. CD-ROM
: Kaufmann, T.
Conference Proceedings
2001Integrated metrology. An enabler for advanced process control (APC)
Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.
Conference Paper
2000Mikroelektronik für die Mobilkommunikation
Jung, P.
Conference Paper
2000The moving liquid mirror (MLM) spatial light modulator
Wolter, A.; Lakner, H.; Doleschal, W.; Zimmer, G.
Conference Paper
2000Ein objektorientiertes Hardware-Beschreibungs- und Synthese-System zum wiederverwendungsbasierten Entwurf integrierter digitaler Schaltungen
Heuser, O.
Dissertation
1999A highly flexible design and production framework for modularized microelectromechanical systems
Schünemann, M.; Grosser, V.; Leutenbauer, R.; Bauer, G.; Schäfer, W.; Reichl, H.
Journal Article
1999Nondestructive analytical tools for characterization of thin titanium silicide films prepared by conventional and direct step silicidation with enhanced transition
Kal, S.; Ryssel, H.
Journal Article
1999Untersuchungen von Reinheitssystemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten
Schließer, J.
Dissertation
1999A View to the Future - A Modular Simulation Kit for Cost-Efficient Fab-Wide Planning and the Simulation of Automated Material Handling Systems in the Semiconductor Industry
Bader, U.; Besler, A.; Schließer, J.; Dorner, J.
Conference Paper
1998Cost Efficient Future Automation and Transport Concepts
Bader, U.; Dorner, J.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Garbers, M.
Conference Paper
1998A highly flexible design and production framework for modularized microelectromechanical systems
Schünemann, M.; Grosser, V.; Leutenbauer, R.; Bauer, G.; Schäfer, W.; Reichl, H.
Conference Paper
1998Local laser supported cleaning of microelectromechanical systems and components
Schwaab, G.; Grimme, R.; Schäfer, W.
Conference Paper
1998Local laser supported cleaning of microelectromechanical systems and components
Schwaab, G.; Grimme, R.; Rockowicz, M.; Schäfer, W.
Conference Paper
1998Mikroskopische Techniken zur Materialanalys
Meyendorf, N.; Altpeter, I.; Fassbender, S.; Reiter, H.; Netzelmann, U.
Conference Paper