Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2012Influence of test speed on the bonding strength of glass frit bonded wafers
Vogel, K.; Wuensch, D.; Uhlig, S.; Froemel, J.; Naumann, F.; Wiemer, M.; Gessner, T.
Abstract
1999Modulare Mikrosysteme für den Maschinen- und Anlagenbau
Schünemann, M.; Bauer, G.; Großer, V.; Dorner, J.
Journal Article
1998Baukastensystem Mikrosystemtechnik
Schünemann, M.; Bauer, G.; Schäfer, W.; Reichl, H.; Großer, V.; Leutenbauer, R.
Journal Article
1998Local laser supported cleaning of microelectromechanical systems and components
Schwaab, G.; Grimme, R.; Rockowicz, M.; Schäfer, W.
Conference Paper
1998Modularization of Microsystems and Standardization of Interfaces
Schünemann, M.; Bauer, G.; Schäfer, W.; Leutenbauer, R.; Grosser, V.; Reichl, H.
Conference Paper
1996Development Trends and Cleanroom Concepts in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Development Trends and Cleanroom Concepts in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W.
Conference Paper
1996Mikrobearbeitung mit dem Funkenerosionsverfahren am Beispiel einer Zahnradpumpe
Weisener, T.; Braunschweiler, A.
Conference Paper