Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2017Strukturierte Oberflächen unter der Lupe
Stahl, Janek
Journal Article
1997Tools zur flexiblen Werkstattsteuerung
Kaufmann, T.S.; Prause, M.; Steuber, S.
Conference Paper
1984E-beam metrology of chromium master masks and masks for x-ray lithography
Betz, H.; Heuberger, A.; Bruenger, W.H.; Mueller, K.P.
Journal Article
1983Heating and temperatur induced distortions of silicon X-ray masks
Heinrich, H.; Betz, H.; Heuberger, A.
Conference Paper