Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1996Qualification of 200 mm manual loading/unloading equipment with PWP-measurements
Schließer, J.; Kaufmann, T.S.
Conference Paper
1995New Minienvironment Standards and an Overview of Standards in Preparation
Schließer, J.
Conference Paper
1994ASIC für kleine und mittlere Unternehmen
Seitzer, D.
Book Article
1994Das europäische Mikroelektronikprogramm Jessi auf Erfolgskurs
Ryssel, H.
Journal Article
1994The European thrust in an international effort to create minienvironment standards
Schließer, J.; Seybold, D.
Conference Paper
1993ASIC für kleine und mittlere Unternehmen
Seitzer, D.
Journal Article
1993Halbleiterfertigungsgeräte und -materialien bilden eine wichtige Voraussetzung für die moderne IC-Herstellung
Ryssel, H.
Journal Article
1991Ist deutsches Halbleiterfertigungsequipment noch konkurrenzfähig
Frühauf, W.
Journal Article
1989Status and progress of 3-D IC technology in Europe
Joly, J.P.; Maes, H.; Seegebrecht, P.
Conference Paper