Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1991Ion and electron dynamics in the sheath of radio-frequency glow discharges.
Koidl, P.; Wild, C.
Journal Article
1989Ion energy distribution in the sheath of radio frequency discharges.
Koidl, P.; Wild, C.
Journal Article