Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1996Hydrogen radical processing-in-situ semiconductor surface cleaning for epitaxial regrowth
Kunzel, H.; Hase, A.; Griebenow, U.
Conference Paper
1991Recent advances in dry etching processes for InP-based materials
Niggebrugge, U.
Conference Paper