Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Lifetime-limiting defects in monocrystalline Silicon
Niewelt, Tim
: Weber, Eike R. (Referent); Glunz, Stefan W. (Referent)
Dissertation
2018Ableitfähige Pulverlackschichten charakterisieren
Cudazzo, Markus; Joachimi, Cathleen
Journal Article
2018Multicrystalline silicon solar cell concepts and light-induced degradation
Krauß, Karin
: Paul, Oliver; Weber, Eike R. (Referent); Wöllenstein, Jürgen (Referent)
Dissertation
2017Enhancing the optoelectronic properties of amorphous zinc tin oxide by subgap defect passivation: A theoretical and experimental demonstration
Rucavado, E.; Jeangros, Q.; Urban, D.F.; Holovsky, J.; Remes, Z.; Duchamp, M.; Landucci, F.; Dunin-Borkowski, R.E.; Körner, W.; Elsässer, C.; Hessler-Wyser, A.; Morales-Masis, M.; Balif, C.
Journal Article
2017Microscopic photoluminescence spectroscopy on silicon
Heinz, Friedemann D.
: Weber, E.R.; Reindl, L.M.; Lausen, G.
Dissertation
2017Optimierung der Mikrostruktur und der Messparameter eines photostimulierten Ozonsensors auf der Basis von Indiumoxid
Mischo, Markus
: Paul, O.; Ambacher, O.; Krischok, S.
Dissertation
2015Spezielle Anwendungen der Transmissionselektronenmikroskopie in der Siliziumhalbleiterindustrie
Mühle, Uwe
: Rafaja, David (Betreuer); Lichte, Hannes (Gutachter); Zschech, Ehrenfried (Gutachter)
Habilitation
2013Neuer Rekord bei organischen Solarzellen
Holeczek, Harald
Journal Article
2013Supply Chain Complexity: Ein Praxisbeispiel aus der Halbleiterindustrie
Aelker, Judith
Conference Paper
2012Im Spannungsfeld der Absatzmärkte
Forster, Christoph; Zapp, Matthias
Journal Article
2012Reinheitsspezifikationen der Halbleiterindustrie an Werkstoffen
Gommel, Udo
Presentation
2011Cleanroom suitability of materials and equipments
Gommel, Udo
Conference Paper
2011A more reliable supply of semiconductor components
Forster, Christoph; Zapp, Matthias
Journal Article
2011Reduzierung von Beschaffungsrisiken bei Halbleiterbauteilen
Zapp, Matthias; Forster, Christoph
Journal Article
2009Reines Equipment. Mit Strömungssimulation Kontaminationsquellen vermeiden
Bürger, Frank
Journal Article
2009Werkstofftrends: Werkstoffe der Mikrosystemtechnik
Weimert, B.; Reschke, S.; Kohlhoff, J.; Grüne, M.
Journal Article
2008Bestimmung charakteristischer Parameter zur Vorhersage von Frühausfällen bei großflächigen organischen Leuchtdioden (OLED)
Jahnel, M.
Thesis
2008Buffer management for automated material handling systems in semiconductor industries
Fischmann, Christian; Böttinger, Fabian; Wertz, Roland; Kunz, Christian
Conference Paper
2008Improved empty vehicle balancing in automated material handling systems
Wertz, Roland; Fischmann, Christian; Böttinger, Fabian; Kasperczyk, Martin
Conference Paper
2008Structuring standards for the photovoltaic manufacturing industry
Baylies, Win; Burkhart, Marty; Cook, Don; Hockett, Dick; Meier, Matthias; Weiss, Bettina
Journal Article
2008Werkstofftrends: Thermoelektrika
Reschke, S.; Grüne, M.; Kohlhoff, J.
Journal Article
2007Barrier- and in-well pumped GaSb-based 2.3 µm VECSELs
Wagner, J.; Schulz, N.; Rattunde, M.; Ritzenthaler, C.; Manz, C.; Wild, C.; Köhler, K.
Journal Article
2007Defectengineering an einer OLED-Beschichtungsanlage
Heintzel, I.
Thesis
2007Flexcellence: Towards roll-to-roll mass-production of low cost thin film silicon solar cells
Ballif, C.; Terrazzoni-Daudrix, V.; Haug, F.-J.; Fischer, D.; Soppe, W.; Loffler, J.; Andreu, J.; Fahland, M.; Schlemm, H.; Topic, M.
Conference Paper
2007High-speed asynchronous optical sampling for high-sensitivity detection of coherent phonons
Dekorsy, T.; Taubert, R.; Hudert, F.; Schrenk, G.; Bartels, A.; Cerna, R.; Kotaidis, A.; Plech, A.; Köhler, K.; Schmitz, J.; Wagner, J.
Conference Paper, Journal Article
2007InGaAs/AlAsSb quantum cascade detectors operating in the near infrared
Giorgetta, F.R.; Baumann, E.; Hofstetter, D.; Manz, C.; Yang, Q.K.; Köhler, K.; Graf, M.
Journal Article
2007Open-circuit voltage optimisation of amorphous silicon thin film solar cells for flexible photovoltaics
Sönderström, T.; Haug, F.-J.; Terrazoni-Daudrix, V.; Niquille, X.; Perregaux, S.; Fahland, M.; Ballif, C.
Conference Paper
2007Sauber und rein in der Fertigung
Rochowicz, Markus; Ernst, Christian
Journal Article
2007System für die modellbasierte Integration von Anlagen in die Halbleiterfertigung
Dreiss, Philipp
Dissertation
2006Modellbasiertes Verfahren zur Online-Leistungsbewertung von automatisierten Transportsystemen in der Halbleiterfertigung
Sturm, R.
Dissertation
2006Neue Halbleiter
Ruhlig, K.
Journal Article
2006Tool supported capability management for semiconductor high volume equipment integration
Erdmann, B.; Dreiss, P.
Conference Paper
2005Funktionskeramiken
Reschke, S.
Journal Article
2005High-power high-brightness tapered diode lasers and amplifiers
Kelemen, M.T.; Weber, J.; Mikulla, M.; Weimann, G.
Conference Paper
2005Metallorganische Molekularstrahlepitaxie von GaN und InN
Aderhold, J.
Dissertation
2005Requirements engineering für die Automatisierung
Reddig, K.
Conference Paper
2005Simulationsbaukasten für die Halbleiter- und Flachbildschirmfertigung
Bader, U.
Dissertation
2005Very high bandwidth millimetre-wave radar
Essen, H.; Wahlen, A.; Sommer, R.; Konrad, G.; Schlechtweg, M.; Tessmann, A.
Journal Article
2004Architecture of a flexible scheduling component
Wiechers, O.; Zehtaban, M.
Conference Paper
2004Authorization and authentification standard (overview and status)
Dreiss, P.; Bichlmeier, J.
Conference Paper
2004Capability management framework for clinical equipment in laboratory
Dreiss, P.; Muckenhirn, R.; Dorner, J.; Kumar, A.P.
Conference Paper
2004Design of the core scheduling component for a flexible scheduling tool
Zehtaban, M.; Seidelmann, J.; Wiechers, O.
Conference Paper
2004Diagnostic data acquisition (DDA) data collection management standards (overview and status)
Dreiss, P.; Willmann, R.
Conference Paper
2004EDA demonstration
Dreiss, P.; Kender, E.
Conference Paper
2004High-power, high-brightness GaInSb/AlGaAsSb quantum-well diode-lasers emitting at 1.9µm
Pfahler, C.; Manz, C.; Kaufel, G.; Kelemen, M.T.; Mikulla, M.; Wagner, J.
Conference Paper
2004Influence of Mg doping profile on the electroluminescence properties of GaInN multiple quantum well light emitting diodes
Stephan, T.; Köhler, K.; Maier, M.; Kunzer, M.; Schlotter, P.; Wagner, J.
Conference Paper
2004Infrared semiconductor lasers for sensing and diagnostics
Wagner, J.; Mann, C.; Rattunde, M.; Weimann, G.
Journal Article
2004Linearisation issues in microwave amplifiers
O`Droma, M.S.; Portilla, J.; Bertran, E.; Donati, S.; Brazil, T.J.; Rupp, M.; Quay, R.
Conference Paper
2004Lot release planning for customer oriented manufacturing
Löffler, B.
Conference Paper
2004Methoden der Lieferterminermittlung: Innerbetriebliche Lösungen bei hoher Wertschöpfungstiefe
Fricke, P.
Conference Paper
2004Robustness evaluation and improvement method for automated material handling systems
Sturm, R.; Reddig, K.; Glüer, D.
Journal Article
2004Universal and mobile messaging framework M2A "Message to Anywhere" for semiconductor manufacturing
Knoll, G.; Dorner, J.; Seidelmann, J.
Conference Paper
2004Using simulation as test tool in semiconductor industries
Wiechers, O.; Zehtaban, M.; Seidelmann, J.
Conference Paper
2003AMHS simulation for fast manufacturing ramp-up
Sturm, R.; Reddig, K.
Conference Paper
2003Configurable, componentbased, flexible scheduler
Wiechers, O.
Conference Paper
2003Deterministic scheduling of wafer fab operations
Pabst, D.; Fowler, J.W.; Pfund, M.; Mason, S.J.; Rose, O.; Mönch, L.; Sturm, R.
Conference Paper
2003Framework for the performance assessment of shop-floor control systems
Mönch, L.; Rose, O.; Sturm, R.
Conference Paper
2003High-brightness 1040 nm tapered diode laser
Kelemen, M.T.; Weber, J.; Rinner, F.; Rogg, J.; Mikulla, M.; Weimann, G.
Conference Paper
2003Message to anywhere (M2A)
Bölstler, F.; Knoll, G.
Journal Article
2003Simulation-based evaluation of the ramp-up behavior of waferfabs
Sturm, R.; Dorner, J.; Reddig, K.; Seidelmann, J.
Conference Paper
2003Transition and developments of 300mm-AMHS simulation models
Reddig, K.; Sturm, R.
Conference Paper
20022K PL topography of silicon doped VGf-GaAs wafers
Baeumler, M.; Maier, M.; Herres, N.; Bünger, T.; Stenzenberger, J.; Jantz, W.
Journal Article
2002Beam quality and linewidth enhancement factor of ridge-waveguide tapered diode lasers
Kelemen, M.T.; Weber, J.; Rogg, J.; Rinner, F.; Mikulla, M.; Weimann, G.
Conference Paper
2002A field mill based on the modular MEMs framework Match-X
Matuscheck, P.; Evers, J.; Schäfer, W.; Nienhaus, M.; Kleen, S.
Conference Paper
2002Framework for the performance assessment of shop-floor control systems
Mönch, L.; Rose, O.; Sturm, R.
Conference Paper
2002High-power high-brightness ridge-waveguide tapered diode lasers at 940 nm
Kelemen, M.T.; Rinner, F.; Rogg, J.; Wiedmann, N.; Kiefer, R.; Walther, M.; Mikulla, M.; Weimann, G.
Conference Paper
2002Das integrale Reinheitssystem
Schließer, J.
Conference Paper
2002A modified shifting bottleneck heuristic for scheduling wafer fabrication facilities
Fowler, J.W.; Brown, S.; Carlyle, W.M.; Gel, E.S.; Mason, S.J.; Mönch, L.; Rose, O.; Runger, G.C.; Sturm, R.
Conference Paper
2002Nanoscopic measurements of surface recombination velocity and diffusion length in a semiconductor quantum well
Malyarchuk, V.; Tomm, J.; Lienau, C.; Rinner, F.; Baeumler, M.
Journal Article
2002Near-diffraction-limited high power diode laser tunable from 895 to 960 nm
Kelemen, M.T.; Rinner, F.; Rogg, J.; Kiefer, R.; Mikulla, M.; Weimann, G.
Conference Paper
2002An object-oriented framework to integrate equipment in automated semiconductor manufacturing facilities, pharmaceutical industries and clinical laboratories
Kumar, A.P.; Dorner, J.; Kleineidam, G.
Conference Paper
2002Simulation von transienten Szenarien an einem automatisierten Wafertransportsystem
Sturm, R.; Reddig, K.
Conference Paper
2002Testing, comparison, and implementation issues
Rose, O.; Mönch, L.; Sturm, R.
Conference Paper
2002Ein Verfahren für die reaktive Auftragskoordination in Produktionsnetzen der Halbleiterindustrie
Halmosi, H.
Dissertation
2000Grobplanung mit künstlichen neuronalen Netzwerken für die Halbleiterfertigung
Schmidt, T.
Dissertation
2000Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gaugel, T.
Conference Paper
2000Kunststoffe und deren Anwendungen für Reinstflüssigkeitssysteme
: Dorner, J.
Conference Proceedings
2000Laser water-jet based dicing
Frauenhoffer, F.
Journal Article
2000Logistic Chain Analyser for SME Companies
Lickefett, M.; Weller, R.
Conference Paper
2000Medien in der Reinstproduktion - Reinstflüssigkeiten
Ernst, C.; Matuscheck, P.
Conference Paper
2000MEMS Modular Packaging and Interfaces
Schünemann, M.; Jam, A.K.; Großer, V.; Leutenbauer, R.; Bauer, G.; Schäfer, W.; Reichl, H.
Conference Paper
2000Order management for semiconductor manufacturing
Schmidt, T.; Wiendahl, H.-H.; Westkämper, E.
Conference Paper
2000Order management for semiconductor manufacturing - a new approach realized with artificial neural networks
Sihn, W.; Pirron, J.; Schmidt, T.; Wiendahl, H.-H.; Mußbach-Winter, U.
Conference Paper
2000Order Management for Semiconductor Manufacturing - a new Approach Realized with Artificial Neural Networks
Pirron, J.; Schmidt, T.; Wiendahl, H.-H.
Conference Paper
2000Order management with artificial neural networks for semiconductor manufacturing
Wiendahl, H.-H.; Schmidt, T.; Westkämper, E.
Conference Paper
2000A Process Flow and Time Model for Planning and Manufacturing Control
Frauenhoffer, F.
Conference Paper
1999Adaption des Flexibilitätsmodells zur Risikobetrachtung - Analyse von Simulationsszenarien
Sturm, R.
Conference Paper
1999Auftragskoordination in Produktionsnetzen der Halbleiterindustrie
Dudenhausen, H.-M.
Dissertation
1999Chemically-assisted ion-beam etching of (AlGa)As/GaAs. Lattice damage and removal by in-situ Cl2 treatment
Daleiden, J.; Kiefer, R.; Klußmann, S.; Kunzer, M.; Manz, C.; Walther, M.; Braunstein, J.; Weimann, G.
Journal Article
1999Equipment Automation and Integration Conference 1999
 
Conference Proceedings
1999Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gaugel, T.
Conference Paper
1999Implementing manufacturing strategies for advanced capacity analysis and material handling design in the planning process of a wafer fab
Sturm, R.; Frauenhoffer, F.; Dorner, J.; Kaufmann, T.
Conference Paper
1999Das Informationstechnik-Konzept der Flexiblen Fab
Mönch, G.; Schmalfuß, V.; Frauenhoffer, F.; Sturm, R.; Aron, J.
Conference Paper
1999MES Integration Assessment and Influences on IT Projects
Suntrup, M.; Dorner, J.
Journal Article
1999Objektorientierte Modellierung des Materialflusses für eine flexible Produktion
Mönch, G.; Podewils, M. von; Schmalfuß, V.; Aron, J.; Frauenhoffer, F.; Sturm, R.
Journal Article
1999Die Organisation der Flexiblen Fab
Frauenhoffer, F.; Mönch, G.; Schmalfuß, V.; Silvi, T.; Sturm, R.; Podewils, M. von
Conference Paper
1999Produzieren im turbulenten Umfeld der Halbleiterindustrie - Teil 1
Stühler, L.; Schmidt, M.; Wiendahl, H.-H.
Journal Article
1999Produzieren im turbulenten Umfeld der Halbleiterindustrie. Teil 2
Stühler, L.; Schmidt, M.; Wiendahl, H.-H.
Journal Article
1999The Quality Chain for (U)HP Media and Joint Media in its Meaning
Dorner, J.; Matuscheck, P.; Ernst, C.
Conference Paper
1999Smart Fabrication Verbund CIM
: Suntrup, M.
Report
1999Smart Fabrication Verbund CIM
: Suntrup, M.
Report
1999Transferring Established Technologies for a Clean Production
Schüle, A.; Kaufmann, T.
Conference Paper
1999Untersuchung verschiedener Methoden zur Prozeß- und Maschinenüberwachung in der Halbleiterfertigung
Rettig, C.
Dissertation
1999Untersuchungen von Reinheitssystemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten
Schließer, J.
Dissertation
1999A View to the Future - A Modular Simulation Kit for Cost-Efficient Fab-Wide Planning and the Simulation of Automated Material Handling Systems in the Semiconductor Industry
Bader, U.; Besler, A.; Schließer, J.; Dorner, J.
Conference Paper
1998Changes in the IT landscape
Suntrup, M.
Journal Article
1998Cleaning with Carbon Dioxide Snow Inspection of a Cleaning Method
Westkämper, E.; Schüle, A.; Werner, D.
Conference Paper
1998Coherent control of acoustic phonons in semiconductor superlattices
Bartels, A.; Dekorsy, T.; Kurz, H.; Köhler, K.
Journal Article
1998FAB-Simulation zur Layout-Dimensionierung
Frauenhoffer, F.; Riemer, M.; Schäfer, A.; Schmalfuß, V.; Sturm, R.
Conference Paper
1998Fabsimulation zur Fertigungssteuerung
Sturm, R.; Frauenhoffer, F.; Treiber, T.
Conference Paper
1998Flexibilitätsbewertung einer Waferfertigung
Sturm, R.; Frauenhoffer, F.; Schmalfuß, V.; Mönch, G.; Podewils, M. von
Conference Paper
1998Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gommel, U.
Conference Paper
1998IT Projects of the European Semiconductor Industry in a Worldwide Context. Proceedings
 
Conference Proceedings
1998Netzwerkaufbau in der Halbleiterindustrie
Sihn, W.; Hägele, T.
Journal Article
1998The Paradigm Shift for Manufacturing Execution Systems in European Projects and SEMI Activities
Kaufmann, T.
Journal Article
1998SEMI CIM Framework Status, SEMI Task Force CIM Framework
Hodges, B.; Kaufmann, T.
Conference Paper
1998A Simulation Model for Advanced Release and Order Planning
Sturm, R.; Silvi, T.; Frauenhoffer, F.; Dorner, J.; Treiber, T.
Journal Article
1998Smart Fabrication CIM Framework Version 2.0 mit dem Innovator 6.0 CASE-System
: Suntrup, M.
Book
1998Smart Fabrication Verbund CIM 1998
 
Conference Proceedings
1998Transition to Next Generation Logistic Information Systems - The Information Integrated Enterprise
Frauenhoffer, F.; Sturm, R.; Kaufmann, T.S.; Dorner, J.
Conference Paper
1997Analyse Engine
Montino, R.; Schäfer, K.; Schmelzle, D.; Suntrup, M.; Kumar, A.P.
Conference Paper
1997CIM Framework Projects of the European Semiconductor Industry
Kaufmann, T.S.; Suntrup, M.; Frauenhoffer, F.; Basset, T.
Conference Paper
1997Gestaltung und Management von Geschäftsprozessen in der Halbleiter-Fertigung
Faiß, J.
Conference Paper
1997Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gommel, U.
Conference Paper
1997Informationsplattform "Initiative Reinstmedien/Joint Media"
Ernst, C.; Naffin, F.; Werner, D.
Conference Paper
1997Kapazitätsgeprüfte Prognose von Lieferterminen mit Hilfe von künstlichen neuronalen Netzwerken am Beispiel der Halbleiterindustrie
Schmidt, T.; Dudenhausen, H.-M.; Pirron, J.
Conference Paper
1997Order Flow Management and Control in a Virtual Enterprise
Richards, H.D.; Dudenhausen, H.-M.; Makatsoris, C.; Ridder, L.d.
Conference Paper
1997Precision Tin/Lead Alloy Plating for Flip-chip Mounting Technology
Richter, H.; Rueß, K.; Gemmler, A.; Leonhard, W.
Journal Article
1997Progress in the layer thickness determination of AlGaAs/GaAs heterostructures using selective etching and AFM imaging of the (110) cleavage planes
Müller, S.; Weyher, J.L.; Dian, R.; Jantz, W.
Journal Article
1997Quantifizierung der Flexibilität
Sturm, R.; Frauenhoffer, F.; Podewils, M. von; Schmalfuß, V.; Mönch, Georg
Conference Paper
1997Smart Fabrication Verbund CIM 1997
 
Conference Proceedings
1997Tools zur flexiblen Werkstattsteuerung
Kaufmann, T.S.; Prause, M.; Steuber, S.
Conference Paper
1997Tools zur papierlosen Fertigung
Adam, M.; Köpf, H.-P.; Hägele, K.-D.
Conference Paper
1997Vollkostentool
Högerle, I.; Reichelt, U.
Conference Paper
1996Produktion im reinen Umfeld - Branchen, Beispiele, Trends
Dorner, J.
Conference Paper
1996Smart Fabrication Verbund CIM 1996
 
Conference Proceedings
1996A Versatile Spray-Spin-Tool for Wet Chemistry Processes in a Microfabrication Line
Kluge, A.; Grimme, R.
Conference Paper
1995Electric-field effects on above-barrier states in GaAs/Al(x)Ga(1-x)As superlattice
Nakayama, M.; Ando, M.; Tanaka, I.; Nishimura, H.; Schneider, H.; Fujiwara, K.
Journal Article
1995Präzisionsgalvanik für die Flipchip-Montagetechnik
Gemmler, A.; Leonhard, W.; Richter, H.; Rueß, K.
Journal Article
1995Produktion im reinen Umfeld - Branchen, Beispiele, Trends
Dorner, J.
Conference Paper
1994Determination of band-edge offset by weak field hall measurement on MBE PbSe/PbEuSe multi-quantum well structures on KCl
Shi, Z.; Lambrecht, A.; Tacke, M.
Journal Article
1994Evidence of Hybridization from a direct comparison of semimagnetic and nonsemimagnetic ternary lead chalcogenides
Herrmann, K.H.; Happ, M.; Möllmann, K.-P.; Peuker, F.; Tomm, J.W.; Böttner, H.; Tacke, M.
Journal Article
1994Luminescence of a quantum-confined dense electron-hole plasma from PbSe nanostructures
Herrmann, K.H.; Tomm, J.W.; Haertel, S.; Hoerstel, W.; Möllmann, K.-P.; Heimbrodt, W.; Tacke, M.; Böttner, H.
Journal Article
1994Produktion im reinen Umfeld - Branchen, Beispiele, Trends
Müller, B.
Conference Paper
1994Technologievorausschau - Mikroelektronik
Wessel, H.
Book
1994Valence band hybridizing in europium-alloyed lead selenide
Tomm, J.W.; Möllmann, K.-P.; Peuker, F.; Herrmann, K.H.; Böttner, H.; Tacke, M.
Journal Article
1993Absolutinterferometrie mit durchstimmbaren Halbleiterlasern
Pfeifer, Tilo; Thiel, J.
Journal Article
1993The electrical characteristics of Pb1-xEuxSe homojunctions.
Xu, J.; Halford, B.; Tacke, M.
Journal Article
1993Entwurf von Leitsystemen - Produktionstechnik im Reinraum
Warnecke, H.-J.; Herzog, O.
Journal Article
1993Halbleiterfertigungsgeräte und -materialien bilden eine wichtige Voraussetzung für die moderne IC-Herstellung
Ryssel, H.
Journal Article
1993Halbleitermesse der Superlative. 45000 Besucher auf der Semicon West in San Francisco
Kahlden, T. von
Conference Paper
1993Mikrosystemtechnik - Gerätetechnik - Entwicklungsstand, Entwicklungstrends und Herausforderungen
Dorner, J.
Conference Paper
1993New results on electroluminescence from porous silicon
Steiner, P.; Kozlowski, F.; Sandmaier, H.; Lang, W.
Conference Paper
1993Partikelausbreitung im Nachlauf von Kontaminationsquellen. Praktische Konsequenzen für die Gestaltung von Bauteilen
Degenhart, E.; Schließer, J.
Journal Article
1993Simulationsgestützte Planungsmethodik zur Integration von Materialdistributionssystemen
Bader, U.
Conference Paper
1992Chemical transport reactions during crystal growth of PbTe and PbSe via vapour phase influenced by AgI.
Stöber, D.; Hildmann, B.O.; Böttner, H.; Schelb, S.; Binnewies, M.; Bachem, K.H.
Journal Article
1992Flussmittelfreie Belotung von Keramiksubstraten. Eureka-Projekt EU 154 "Fabrik der Zukunft"
Schweigert, U.
Journal Article
1992Information processing in semiconductor manufacturing
 
Conference Proceedings
1992Laser induced sputtering of insulators
Panzner, M.; Pompe, W.; Schöneich, B.; Völlmar, S.
Journal Article, Conference Paper
1992Principles of photoelectric conversion.
Tacke, M.
Book Article
1992Shallow p-n junctions produced by laser doping with boron silicate glass
Bollmann, D.; Buchner, R.; Haberger, K.; Neumayer, G.
Conference Paper
1992Some band structure related optical and photoelectrical properties of Pb1-xEuxSe 0 < x < 0.2
Herrmann, K.H.; Möllmann, K.-P.; Tomm, J.W.; Böttner, H.; Lambrecht, A.; Tacke, M.
Journal Article
1992Temperature dependence of RoA product for PbSe photodiodes fabricated by MBE and diffusion.
Tacke, M.; Xu, J.
Journal Article
1992Ultrafast dephasing in GaAs and GaAs/AlGaAs quantum wells
Leo, K.; Haring Bolivar, P.; Maidorn, G.; Kurz, H.; Köhler, K.
Conference Paper
1992Ultrafast electron dynamics at semiconductor surfaces and interfaces studied with subpicosecond laser photoemission.
Haight, R.; Baeumler, M.; Silberman, J.A.; Kirchner, P.D.
Journal Article
1991Entwicklung von Zellenrechnern für die Halbleiterfertigung
Schäfer, W.; Wohnhas, S.
Conference Paper
1991Handhabungstechnik im Reinraum
Kaun, R.
Conference Paper
1991Ist deutsches Halbleiterfertigungsequipment noch konkurrenzfähig
Frühauf, W.
Journal Article
1991Metallization of integrated circuits by laser evaporation of metal sandwich layers
Bollmann, D.; Haberger, K.; Pielmeier, R.
Conference Paper
1991Partikelkontamination und Medienversorgung
Dorner, J.
Conference Paper
1991Partikelmessungen in Gasen
Dorner, J.; Müller, B.
Conference Paper
1991Pure materials for media supply
Dorner, J.
Conference Paper
1991Raman characterization of semiconducting materials and related structures.
Prevot, B.; Wagner, J.
Journal Article
1991Rechnergestützte Montage in der Feinwerktechnik und Elektronik
Leukel, B.; Schweigert, U.
Journal Article
1991Shallow p-n junctions produced by laser doping with Boron and Phosphorus Silicate glass
Bollmann, D.; Stock, G.; Neumayer, G.; Haberger, K.
Conference Paper
1991Wissenschaftlicher Gastaufenthalt in der Präfektur Kanagawa/Japan. Hauptbericht
Alexander, M.; Robeck, A.
Book
1990Economical feasibility study of local cleanrooms as an alternative for conventional cleanrooms in semiconductor manufacturing
Kahlden, T. von
Conference Paper
1990Flexibel Medien ver- und entsorgen
Warnecke, H.-J.; Müller, B.; Dorner, J.; Frühauf, W.; Mann, R.
Journal Article
1990Flexible Medienversorgung und -entsorgung. Für fotolithographisches Prozeßzentrum neuartiges Konzept realisiert
Warnecke, H.-J.; Dorner, J.; Frühauf, W.; Mann, R.; Müller, B.
Journal Article
1990Halbleiterfertigung auf der Semicon Europe '90
Haller, A.; Lunzer, H.-R.; Schmidt, H.-P.
Conference Paper
1990Halbleiterfertigungstechnik auf der Semicon West '90
Haller, A.; Kelemen, M.
Conference Paper
1990Idecon-Verbindung von Material- und Informationsfluß in flexiblen Systemen der Halbleiterfertigung
Sauter, K.-D.
Journal Article
1990Influence of the BaF2 substrate preparation on the structural perfection of epitaxially grown IV-VI compounds.
Clemens, H.; Voiticek, A.; Holzinger, A.; Bauer, G.
Journal Article
1990Laser evaporation of metal sandwich layers for improved IC metallization
Bollmann, D.; Haberger, K.; Pielmeier, R.
Journal Article
1990A luminescence study in the Pb(1-x)Eu(x)Se system
Böttner, H.; Herrmann, K.H.; Lambrecht, A.; Tacke, M.; Tomm, J.W.
Journal Article
1990Partikelmessung in Gasen
Dorner, J.
Conference Paper
1990Strong asymmetry of non-resonant optical four-wave mixing in PbSe and PbSnSe
Dorbath, K.; Häfele, H.G.; Tacke, M.
Journal Article
1990Ultra flat P-N junctions formed by solid source laser doping
Stock, G.; Bollmann, D.; Buchner, R.; Neumayer, G.; Haberger, K.
Conference Paper
1990Ultra flat P-N junctions formed by solid source laser doping
Stock, G.; Bollmann, D.; Buchner, R.; Neumayer, G.; Haberger, K.
Conference Paper
1990Untersuchungen über Regelparameter in einer Lithographiezelle
Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Temmel, G.; Zielonka, G.
Conference Paper
1990Werkstückbegleitender Informationsspeicher als Basis für ein informationstechnisches Konzept für Halbleiterfertigungen
Sauter, K.-D.
Dissertation
1989Entwicklung von Prozessmodulen und in-situ-Meßmethoden für ein Flexibles Fotolithografisches Prozeßzentrum
Temmel, G.; Zielonka, G.; Olbrich, H.; Mann, R.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.
Conference Paper
1989Forschung und Entwicklung für die Halbleitergeräte-Industrie. Teil II. Fertigungstechnik im Reinraum
Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Conference Paper
1989GME-Fachdiskussion "Kontaminationsprobleme bei Halbleiterfertigungsgeräten"
Schmutz, W.
Conference Paper
1989Halbleiterfertigungstechnik auf der Semicon West 1989
Frühauf, W.; Lunzer, H.-R.
Conference Paper
1989Halbleiterkameras
Schmidberger, E.
Book Article
1989Halbleitersensoren zur Bildwandlung
Ahlers, Rolf-Jürgen
Book Article
1989Lokale Reinräume. Flexibles, fotolithographisches Prozeßzentrum für die Halbleiterfertigung
Warnecke, H.-J.; Frühauf, W.; Kelemen, M.; Mann, R.
Journal Article
1989Prozeßtechnische Aspekte fortschrittlicher Halbleiterfertigungsgeräte
Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Schmutz, W.
Journal Article
1989Rasante Entwicklung - CCD-Kameras werden technisch immer perfekter
Schmidberger, E.
Journal Article
1989Der Reinraum als Produktionsumfeld für die Halbleiterfertigung
Schmutz, W.
Conference Paper
1989Sensorintegration
Ahlers, R.-J.
Conference Paper
1989Zweidimensionale Simulation der lokalen Oxidation von Silizium
Seidl, A.
Dissertation
1988Partikelfrei handeln - Handhabungssysteme in reinen Räumen
Seitz, D.; Geissinger, J.
Journal Article
1988Präzisionsschleifen sprödharter Werkstoffe
Steffens, K.; Struth, W.
Book Article
1987A smog chamber study on the impact of aerosols on the photodegradation of chemicals in the troposphere
Nolting, F.; Zetzsch, C.; Behnke, W.
Journal Article
1986Chemikalienabbau in der Atmosphäre - Einfluß von Staub im Sonnenlicht
Zetzsch, C.
Conference Paper
1986Excitonic transitions in quantum wells composed of either binary or ternary III-V semiconductors grown by molecular beam epitaxy
Miguel, J.L. de; Ohmori, Y.; Stolz, W.; Tapfer, L.; Ploog, K.; Wagner, J.
Conference Paper
1986Infrared investigations of persistent carriers, photo-generated during EL2 bleaching in GaAs
Fuchs, F.; Dischler, B.; Kaufmann, U.
Conference Paper
1986Semiconducting aerosols - a possible contribution to tropospheric chemistry
Behnke, W.; Nolting, F.; Zetzsch, C.
Conference Paper
1986A smog chamber study on the impact of aerosols on the photodegradation of chemicals in the troposphere
Nolting, F.; Zetzsch, C.; Behnke, W.
Conference Paper
1986Smogkammer-Untersuchungen des Abbaus von Kohlenwasserstoffen in Anwesenheit atmosphaerischer Modell-Aerosole
Behnke, W.; Nolting, F.; Zetzsch, C.
Book Article
1986Spectrally resolved photo-response of the EL2 absorption in undoped semi-insulating GaAs
Fuchs, F.; Dischler, B.; Kaufmann, U.
Book Article
1985Microscopic identification of defects in semiconductors by electron-spin-resonance and related techniques
Schneider, J.
Conference Paper
1983Magnetische Kernresonanz-Untersuchung an einkristallenem Tellur und Selen
Guenther, B.
Dissertation
1982Determination of deep donor binding energies from their g values.
Schirmer, O.F.; Scheffler, M.
Journal Article
1982Electron spin resonance of As Ga antisite defects in fast neutronirradiated GaAs
Woerner, R.; Schneider, J.; Kaufmann, U.
Journal Article
1982Point defects in GaP, GaAs and InP
Schneider, J.; Kaufmann, U.
Journal Article
1981Calorimetric absorption spectroscopy of nonradiative recombination processes in GaP.
Bimberg, D.; Bubenzer, A.
Journal Article