Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1990Flexible Medienversorgung und -entsorgung. Für fotolithographisches Prozeßzentrum neuartiges Konzept realisiert
Warnecke, H.-J.; Dorner, J.; Frühauf, W.; Mann, R.; Müller, B.
Journal Article
1988Modulare Fertigungszelle fuer fotolithographische Prozesse
Mann, R.; Fruehauf, W.
Journal Article