Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Grundlegende Untersuchungen zur Phasenmodulation von Licht im Subnanometer-Bereich mittels diffraktiver Mikrospiegelarrays
Sicker, Cornelius
: Schenk, Harald; Reif, Jürgen
Dissertation
2007Methode zur Verbesserung der Planarität von Flächenlichtmodulatoren
Dürr, P.; Kunze, D.
Conference Paper
2001Bildgebende Mikrosysteme: Chips, die mit Licht arbeiten
Lakner, H.; Wolter, A.; Schenk, H.
Book Article
2001Untersuchungen zu einem hochauflösenden Flächenlichtmodulator mit einstellbarem Profil einer Flüssigkeitsoberfläche zur optischen Musterwiedergabe
Wolter, A.
Dissertation
2000Fabrication of the moving liquid mirror (MLM) spatial light modulator in a standard CMOS-process
Wolter, A.; Lakner, H.; Kück, H.; Doleschal, W.; Kirstein, K.-U.; Rieck, A.; Frohberg, K.
Conference Paper
2000Micromirror arrays for wavefront correction
Gehner, A.; Wildenhain, M.; Lakner, H.
Conference Paper
2000A spatial light modulator using moving liquid mirrors (MLM) on a CMOS active-matrix
Wolter, A.; Kirstein, K.-U.; Doleschal, W.; Kück, H.; Lakner, H.; Zimmer, G.
Conference Paper
2000Test system for micro mirror arrays
Dürr, P.; Tanneberger, T.; Wolter, A.; Kluge, W.; Doleschal, W.; Lakner, H.
Conference Paper
1997Entwicklung hochauflösender Flächenlichtmodulatoren mit deformierbaren Spiegelanordnungen für die maskenlose Mikrolithographie
Gehner, A.
Dissertation