Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2002Integrales Reinheitssystem
Schließer, J.; Werner, D.
Book Article
2002Sauberkeitsgerechte Produktionsgestaltung
Schließer, J.; Rochowicz, M.
Conference Paper
1999Integrales Reinheitssystem
Werner, D.; Schließer, J.
Conference Paper
1999Optimierung von Reinraumproduktionen
Dorner, J.; Schließer, J.; Ernst, C.; Werner, D.
Conference Paper
1994Perspektiven der Fertigungsgeräte-Industrie in der industriellen Produktion von Mikrosystemen
Schäfer, W.; Schweizer, M.; Dorner, J.; Weisener, T.; Vögele, G.
Conference Paper
1993Chancen außerhalb der Chip-Produktion - Verbundprojekt förderte Kooperation zur Gerätespezifikation und zeigte Entwicklungsschwerpunkte auf. Hersteller von Fertigungsgeräten für die Mikroelektronik suchen nach neuen Märkten
Schäfer, W.
Journal Article
1993Mikrosystemtechnik - Gerätetechnik - Entwicklungsstand, Entwicklungstrends und Herausforderungen
Dorner, J.
Conference Paper
1992Entwicklungsrichtlinien für reinraumtaugliche Fertigungsgeräte
Degenhart, E.
Conference Paper
1992Qualifizierung von Fertigungsgeräten und Komponenten für den Einsatz unter Reinraumbedingungen
Kahlden, T. von
Conference Paper
1991Systematical concept and statistical evaluation of airborne particle measurements during testing equipment for cleanroom suitability
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von
Conference Paper
1991Systematische Vorgehensweise und statistische Auswertung von Messungen luftgetragener Partikel bei Untersuchungen von Fertigungsgeräten auf Reinheitstauglichkeit
Kahlden, T. von
Conference Paper
1989Richtlinienentwurf - Standardisierung von Untersuchungen auf Reinraumtauglichkeit
Degenhart, E.; Geißinger, J.; Kahlden, T. von
Journal Article
1988Procedures for testing clean room suitability of manufacturing equipment
Warnecke, H.-J.; Degenhart, E.; Geissinger, J.; Kahlden, T. von
Conference Paper