Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2015Laserdotieren als mögliche Alternative zur Ionenimplantation zur Erzeugung definierter Dotierprofile
Schilling, Niels; Linaschke, Dorit; Dani, Ines
Conference Paper
2011Technologiebasierte Modellierung und Analyseverfahren unter Berücksichtigung von Streuungen im 65nm-Knoten. Kurztitel: Sigma65. Abschlussbericht
: Dietrich, Manfred (Projektkoordinator)
Report