Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2012Der "Zauberspiegel" als Messprinzip
Tobisch, Alexander; Schellenberger, Martin; Pfitzner, Lothar
Journal Article
2007Chemical mechanical planarization (CMP) metrology for 45/32 nm technology generations
Nutsch, A.; Pfitzner, L.
Conference Paper
2007Deflektometrie zur Ebenheitsbestimmung. Anwendung der Streifenreflexion zur Waferinspektion
Schmitt, R.; Köllmann, D.; Herben, M.
Conference Paper
1995Modifikation von CCD-Bildsensoroberflächen zur Steigerung des Höhenauflösungsvermögens von Moire-Topographiemeßplätzen
Seib, Michael
Dissertation