Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2008Modified DLC coatings prepared in a large-scale reactor by dual microwave/pulsed-DC plasma-activated chemical vapour deposition
Corbella, C.; Bialuch, I.; Kleinschmidt, M.; Bewilogua, K.
Journal Article
2005Mehr Effizienz!
Lange, V.; Auffermann, C.; Vollmer, F.
Journal Article
2005Vorstellung der Projektgruppe " ECR- Obst & Gemüse, Blumen & Pflanzen"
Lange, V.; Lammers, W.; Auffermann, C.
Presentation
2000Dynamische Transportkette
Figgener, O.
Journal Article
1998Das will der Kunde
Hanitz, A.; Müller, P.
Journal Article
1997Neue modulare Anlage zur Plasmamodifizierung textiler Flächenprodukte in Bahnbreiten von 1.4 m
Vissing, K.D.; Baalmann, A.; Hennemann, O.D.
Conference Paper
1997Surface cleaning and etching of CdZnTe and CdTe in H2/Ar, CH4/H2/Ar, and CH4/H2/N2/Ar electron cyclotron resonance plasmas
Keller, R.C.; Zimmermann, H.; Seelmann Eggebert, M.; Richter, H.J.
Journal Article
1996Dry etching of Hg(1-x)Cd(x)Te using CH4/H2/Ar/N2 electron cyclotron resonance plasmas
Keller, R.C.; Seelmann Eggebert, M.; Richter, H.J.
Journal Article
1993Influence of plasma activation on the deposition of Ti, TiN and Cu using metalorganic compounds
Weber, A.; Nikulski, R.; Bringmann, U.; Gernhuber, M.; Pöckelmann, R.; Klages, C.-P.
Conference Paper
1992Plasma-deposition of BN, BCN-H and Me-BCN-H films using N-trimethylborazine -MeTi,Nb-
Weber, A.; Bringmann, U.; Klages, C.-P.; Taube, K.; Döllein, G.; Meyer, H.; Weidenbach, G.
Conference Paper
1992Verbundprojekt - Neue Dünnschichtverfahren durch "molecular engineering" metallorganischer Verbindungen. Teilvorhaben - Untersuchung der Plasmaparameter
Weber, A.; Bringmann, U.; Nikulski, R.; Klages, C.-P.
Conference Paper