Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2012Beschreibung topografischer Defekte. Deflektometrie zur Inspektion spiegelnder Oberflächen
Heizmann, Michael; Werling, Stefan
Journal Article
2012Verfahren zur Erzeugung dynamischer Wärmemuster für die Anwendung in der Infrarotdeflektomtrie
Höfer, S.; Werling, Stefan; Beyerer, Jürgen
Conference Paper
2007Deflektometrie zur Ebenheitsbestimmung. Anwendung der Streifenreflexion zur Waferinspektion
Schmitt, R.; Köllmann, D.; Herben, M.
Conference Paper