Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
19973D simulation of sputter deposition of titanium layers in contact holes with high aspect ratios
Bär, E.; Lorenz, J.; Ryssel, H.
Conference Paper
19973D simulation of sputter deposition of titanium layers in contact holes with high aspect ratios2
Bär, E.; Lorenz, J.; Ryssel, H.
Journal Article
1997Three-dimensional simulation of conventional and collimated sputter deposition of Ti layers into high aspect ratio contact holes
Bär, E.; Lorenz, J.; Ryssel, H.
Conference Paper
1991Laserunterstütztes Aufdampfen von Mehrlager-Metallschichten für eine verbesserte Kontakt- und Metallisierungstechnologie
Pielmeier, R.; Bollmann, D.; Heuberger, K.; Seegebrecht, P.
Conference Paper