Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. | | |
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| 2015 | High-temperature trench capacitors, using thin-film ALD dielectrics
Dietz, Dorothee; Celik, Yusuf; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger; Kappert, Holger | Journal Article, Conference Paper |
| 2015 | High-temperature trench capacitors, using thin-film ALD dielectrics
Dietz, Dorothee; Celik, Yusuf; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger; Kappert, Holger | Conference Paper |