English
Deutsch
Log In
Password Login
or
Log in with Fraunhofer Smartcard
Research Outputs
Projects
Researchers
Institutes
Statistics
Fraunhofer-Gesellschaft
Home
Fraunhofer-Gesellschaft
Hauptwerk
Nicht-konventionelle Plasma- und Randschichtdiagnostik zur Charakterisierung von Plasma-Oberflächen-Prozessen
Information
Publications
Export
Statistics
Options
Title
Nicht-konventionelle Plasma- und Randschichtdiagnostik zur Charakterisierung von Plasma-Oberflächen-Prozessen
Titel Supplements
Workshop, 4. Dezember 2012 in Dresden
Institut
Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten -EFDS-
Verlag
EFDS
Verlagsort
Dresden
Datum
2012
Konferenz
Workshop "Nicht-konventionelle Plasma- und Randschichtdiagnostik zur Charakterisierung von Plasma-Oberflächen-Prozessen" 2012