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Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen
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Title
Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen
Titel Supplements
Abschlussbericht DFG-Schwerpunktprogramm 1159 StraMNano
Hrsg
Weckenmann, Albert
Institut
Deutsche Forschungsgemeinschaft -DFG-, Bonn
Univ. Erlangen-Nürnberg, Lehrstuhl Qualitätsmanagement und Fertigungsmesstechnik
Verlag
Shaker
Verlagsort
Aachen
Datum
2011