Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Dielektrische Gassensoren

 
: Drost, S.; Endres, H.-E.

Mikroelektronik : me 4 (1990), Nr.5, S.75-77
ISSN: 0931-2714
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
dielektrische Spektroskopie; gassensor; Heteropolysiloxan; kapazitiver sensor; MOSFET; sensor; SO2

Abstract
Dielektrische Sensoren sind eine Klasse chemischer Sensoren, die die dielektrischen Eigenschaften und die Grenzflächenphänomene adsorbierter Gase an einem, isolierenden dünnen Film, meistens aus einem organischen Polymer, als Detektionsmechanismus nutzen. Zu diesen Sensoren zählen entsprechend aufgebaute Feldeffekttransistoren und Kondensatoren. Der Artikel beschäftigt sich mit kapazitiven Sensoren, deren Möglichkeiten und Grenzen.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-9812.html