Fraunhofer-Gesellschaft

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Dickschicht-Drucksensoren - Simulation der mechanischen Eigenschaften und spezielle Anforderungen an Dickschichtpasten

Thick-film pressure sensors - simulation of the mechanical properties and particular demands posed on thick-film pastes
 
: Drost, S.; Sandmaier, H.; Scherbaum, S.

Technisches Messen : TM 56 (1989), Nr.6, S.245-249 : Abb.,Tab.,Lit.
ISSN: 0340-837X
ISSN: 0171-8096 (Print)
ISSN: 2196-7113 (Online)
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Dickschichttechnik; Drucksensor; K-Faktor; piezoresistiver Effekt; Sealing Glas; simulation

Abstract
Für das Design von Dickschicht-Drucksensoren werden in zunehmendem Maße Simulationswerkzeuge eingesetzt. Die Simulation im mechanischen Bereich erstreckt sich von der Bestimmung der Plattenform über die Berücksichtigung der Einspannverhältnisse und der Montage des Sensors bis zur Bestimmung nichtlinearer Abhängigkeiten. Aus bisher mangelnder Kenntnis der physikalischen Mechanismen, die zum piezoresistiven Effekt bei Widerstandspasten führen, wird der Einfluß der Widerstände auf die Ausgangskennlinie des Sensors durch eine experimentelle Bestimmung der Kennwerte in die Simulation miteinbezogen.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-9791.html