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1995
Conference Paper
Titel
Diamantschichten mit kontrollierter Rauhigkeit - Untersuchung der funktionellen Eigenschaften rauher Diamantschichten
Abstract
Bisherige Arbeiten betrafen die Substratauswahl und erste Beschichtungen auf Probekörpern. Die anwendungsspezifischen Anforderungen erlauben es, auf das für die CVD-Diamantabscheidung vorteilhafte Si3N4 als Substratmaterial zurückzugreifen. Erste Beschichtungen wurden auf unterschiedlich vorbehandeltem Si3N4 durchgeführt. Ramanmessungen zeigen, daß die abgeschiedenen Schichten im wesentlichen aus Diamant mit typischen Halbwertsbreiten von 9 cm- 1 bei einer Peaklage von 1332 cm- 1 und einem geringen Anteil an graphitischer Phase bestehen. Röntgenuntersuchungen ergaben weder die Bildung einer Reaktionsschicht noch eine Veränderung des Si3N4-Substrats. Aus Rauhigkeitsmessungen wurden bei Schichtdicken von 5 µm Rauhtiefen bis 2 µm und Mittenrauhwerte bis 0,3 µm ermittelt.