Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Depth profiling of Si in AlGaAs/GaAs heterostructures with SIMS

Tiefenprofilanalytik von Si in AlGaAs/GaAs Heterostrukturen mit der SIMS
 
: Maier, M.

Benninghoven, A.:
Secondary Ion Mass Spectrometry. SIMS VII
New York/N.Y.: Wiley and Sons, 1990
ISBN: 0-471-92738-4
S.531-534 : Abb.,Tab.,Lit.
International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry <7, 1989, Monterey>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IAF ()
AlGaAs/GaAs heterostructure; Cs/O2-Primär-Ionen; depth profiling; Si doping; Silizium-Dotierung; Tiefenprofilanalyse

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-9249.html