Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Deposition of thin films by beam induced polymerization of divinylbenzene.

Abscheidung duenner Filme durch strominduzierte Polymerisation von Divinylbenzol
 
: Fritzsche, C.R.

:

Journal of applied physics 53 (1982), Nr.12, S.9053-9057 : Abb.,Tab.,Lit.
ISSN: 0021-8979
ISSN: 1089-7550
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IAF ()
aktives Zentrum; Divinylbenzol; Dünnfilm; ioneninduzierte Polymerisation; Lebensdauer; Mikrolithographie; Reaktionsquerschnitt; Zeitkonstante

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-9242.html