Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Deposition of polymer film patterns by ion beams

 
: Fritzsche, C.R.; Eisele, K.M.

Journal of vacuum science and technology B. Microelectronics and nanometer structures 4 (1986), Nr.6, S.1318-1320 : Abb.,Lit.
ISSN: 0734-211X
ISSN: 1071-1023
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IAF ()
Ionenstrahl-Lithographie; Mikrolithographie; Polymerschicht

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-9235.html