Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Deposition of masking films by ion beam induced polymerization.

Abscheidung von maskierenden Schichten mittels Ionenstrom-induzierter Polymerisation
 
: Eisele, K.M.; Fritzsche, C.

Ryssel, H.; Glawischnig, H.:
Ion implantation. Equipment and techniques
Berlin; Berlin/West: Springer, 1983 (Springer series in electrophysics 11)
S.269-272 : Abb.,Tab.,Lit.
Englisch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IAF ()
Ätzprozeß; Maskierung; Trockenmaskierungstechnik; Wachstumsrate

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-9234.html