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Verfahren und Einrichtung zur Reduzierung der Zuendspannung von Leistungspulsen gepulst betriebener Plasmen
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Title
Verfahren und Einrichtung zur Reduzierung der Zuendspannung von Leistungspulsen gepulst betriebener Plasmen
Date Issued
2003
Author(s)
Schulze, M.
Krause, U.
Patent No
2000-10051508
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=10051508A
Patenprio
DE 2000-10051508 A: 20001018