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Patente
Vorrichtung zur grossflaechigen Plasmaerzeugung
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Title
Vorrichtung zur grossflaechigen Plasmaerzeugung
Date Issued
2003
Author(s)
Heinrich, F.
Baenziger, U.
Patent No
1995-19548657
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=19548657A
Patenprio
DE 1995-19548657 A: 19951217