Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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VERFAHREN ZUR REGELUNG VON REAKTIVEN SPUTTERPROZESSEN

 
: Bringmann, U.; Hoeing, T.; Malkomes, N.; Szyszka, B.; Vergoehl, M.; Poeckelmann, R.

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DE 2000-10015150 A: 20000327
EP 2001-938052 AW: 20010327
WO 2001-EP3443 A: 20010327
EP 1268872 B1: 20030910
C23C0014
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IST ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-88551.html