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Monochromatorspiegel fuer den EUV-Spektralbereich

Monochromator mirror for extreme UV spectral range, has periodic sequence of 2 layers of differing materials applied to substrate for providing Bragg diffractor.
 
: Feigl, T.; Kaiser, N.; Kuhlmann, T.; Yulin, S.

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DE 2002-10208705 A: 20020225
DE 2002-10208705 A: 20020225
WO 2003-EP1842 A: 20030221
DE 10208705 A1: 20030911
G21K0001
G02B0005
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IOF ()

Abstract
Monochromatorspiegel fuer den EUV-Spektralbereich mit einer auf ein Substrat aufgebrachten Schichtanordnung, die eine periodische Abfolge von zwei eine Periode mit der Periodendicke d bildenden Einzelschichten unterschiedlicher Materialien als Spacer-Schicht bzw. als Absorber-Schicht aufweist, so dass die Reflektivitaet der zweiten oder einer hoeheren Bragg-Ordnung verwendet wird und wobei d eine Groessenabweichung von hoechstens ± 3% aufweist und wobei das Verhaeltnis der Schichtdicke der Absorber-Schicht zur Periodendicke kleiner ist als das Verhaeltnis von 0,6 zur verwendeten Ordnung der Bragg-Reflexion.

 

WO2003071317 A UPAB: 20030923 NOVELTY - The monochromator mirror has a layer structure with a number of superimposed individual layers applied to a substrate (S) for providing a Bragg diffractor. A periodic sequence of 2 layers (A,B) of differing materials acting as spacer and absorber layers has a given period thickness (d) with a maximum dimensional deviation of 3 %, the ratio of the absorber layer thickness (d A) to the period thickness being less than 0.8 divided by the employed Bragg reflection order. USE - The monochromator mirror is used for providing monochromatic extreme UV radiation, e.g. for materials science, X-ray astronomy, or X-ray microscopy. ADVANTAGE - Reduced half width of reflections in extreme UV spectral range.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-88471.html