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Vorrichtung zur Aktivierung von Gasen im Vakuum

Device for activating gases in vacuum has gas outlet opening(s) size selected in relation to hollow cathode wall thickness so hollow cathode glow discharge is limited to interior volume.
 
: Jung, T.

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DE 2002-10211332 A: 20020314
DE 2002-10211332 A: 20020314
WO 2003-EP152 A: 20030109
DE 10211332 A1: 20031002
C23C0016
H01J0037
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IST ()

Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Aktivierung eines durch die Vorrichtung stroemenden Gases mittels Hohlkathoden-Glimmentladung, die aus einem mit mindestens einer Gaszuleitung und mindestens einer Oeffnung fuer den Gasaustritt versehenen Gehaeuse, einer Hohlkathode sowie einem durch das Gehaeuse begrenzten Innenraum mit einer darin angeordneten Anode besteht, und die Dimensionierung der mindestens einen Oeffnung fuer den Gasaustritt im Verhaeltnis zur Wandstaerke der Hohlkathode derart gewaehlt ist, dass die Hohlkathoden-Glimmentladung auf den Innenraum begrenzt ist.

 

WO2003077279 A UPAB: 20031027 NOVELTY - The device consists of a housing with at least one gas feed line and at least one gas outlet opening, a hollow cathode and an interior volume bounded by the housing with an anode within it. The dimensions of the gas outlet opening(s) in relation to the wall thickness of the hollow cathode are selected so that the hollow cathode glow discharge is limited to the interior volume. DETAILED DESCRIPTION - AN INDEPENDENT CLAIM is also included for the following: a method of activating a gas with a hollow cathode glow discharge. USE - For activating a gas with a hollow cathode glow discharge, for use with PVD and/or CVD techniques (claimed), for use in cleaning surfaces (claimed) and for activating synthetic surfaces (claimed). ADVANTAGE - Overcomes certain disadvantages of conventional arrangements to enable efficient activation.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-88460.html