Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
Cubic boron nitride films prepared by reactive r.f. - and d.c. sputtering from different boron containing targets
:
Schütze, A.
;
Bewilogua, K.
;
Lüthje, H.
;
Kouptsidis, S.
;
Jäger, S.
:
DOI:
10.1016/0257-8972(95)08312-X
Surface and coatings technology 74-75 (1995), S.717
ISSN: 0257-8972
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IST
(
)
DC-sputtering
;
infrared spectroscopy
;
sputtering
