Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Corner compensation techniques in anisotropic etching of 100-silicon using aqueous KOH

 
: Offereins, H.L.; Kuhl, K.; Lang, W.; Sandmaier, H.

Institute of Electrical and Electronics Engineers -IEEE-:
Transducers '91. 6th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators. Digest of technical papers
New York/N.Y., 1991
ISBN: 0-87942-585-7
S.456-459
International Conference on Solid-State Sensors and Actuators <6, 1991, San Francisco/Calif.>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-8709.html