Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Conformal copper deposition in deep trenches

 
: Bollmann, D.; Merkel, R.; Klumpp, A.

:

Microelectronic engineering 37/38 (1997), S.105-110
ISSN: 0167-9317
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-8504.html