Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

VERFAHREN ZUR REGELUNG VON SPUTTERPROZESSEN

 
: Szyszka, B.; Malkomes, N.

:
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DE 1999-19956733 A: 19991125
EP 2000-977458 A: 20001102
EP 1232293 B1: 20030514
C23C0014
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IST ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-83574.html