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1992
Conference Paper
Titel
Compositional analysis of MBE pseudomorphic InGaAs/AlGaAs/GaAs structures by determination of film thickness with SIMS
Alternative
Analyse der Zusammensetzung MBE gewachsener pseudomorpher InGaAs/AlGaAs/GaAs-Strukturen durch Bestimmung der Schichtdicken mit der SIMS
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