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Title
Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung von Waermequellen innerhalb einer elektrisch leitendes Material aufweisenden Probe
Date Issued
2002
Author(s)
Altmann, F.
Patent No
2001-10136774
Abstract
Beschrieben wird ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zur Untersuchung von Waermequellen innerhalb einer elektrisch leitendes Material aufweisenden Probe, die zu Zwecken einer Waermeentwicklung mit einer elektrischen Spannung beaufschlagt wird, bei dem die Probe auf wenigstens einer Probenoberflaeche mit einem fluoreszierenden Mittel beaufschlagt wird, dessen Fluoreszenzeigenschaft temperaturabhaengig ist, die derart praeparierte Probenoberflaeche einem das fluoreszierende Mittel energetisch anregenden Energiestrom ausgesetzt wird, bevor, waehrend und/oder nachdem die Probe mit einer elektrischen Spannung versorgt wird und mittels einer Bildaufnahmevorrichtung Bilder von der praeparierten Probenoberflaeche austretende Fluoreszenzstrahlung aufgenommen und mittels einer Auswerteeinheit ausgewertet werden. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass die elektrische Spannung mit einer Modulationsfrequenz fP beaufschlagt und die Bildaufnahmevorrichtung mit der Modulationsfrequenz fP im Wege eines Lock-in-Prinzips phasengekoppelt wird.
DE 10136774 C UPAB: 20030121 NOVELTY - The heat source investigation method has at least one surface of the electrically conductive probe (3) provided with a fluorescent material which has a temperature-dependent fluorescence characteristic, which is stimulated before, during and/or after application of an electrical voltage to the electrically conductive probe, with image analysis of the fluorescence. The electrical voltage is subjected to a modulation frequency, the imaging device (6) phase coupled with the modulation frequency via a lock-in principle. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM for a device for investigation of heat sources within an electrically conductive probe is also included. USE - The method is used for investigation of heat sources within an electrically conductive probe, e.g. for investigation of heat sources in an IC. ADVANTAGE - The method provides high position resolution for the detected heat source.
Language
de
Patenprio
DE 2001-10136774 A: 20010727