Fraunhofer-Gesellschaft

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CMOS-Auslese-IC für kapazitive Sensoren

 

VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik -GMA-, Düsseldorf; Informationstechnische Gesellschaft -ITG-:
Sensoren, Technologie und Anwendung 1992. 6. GMA/ITG-Fachtagung
Düsseldorf: VDI-Verlag, 1992 (VDI-Berichte 939)
ISBN: 3-18-090939-0
S.309-314
Fachtagung Sensoren, Technologie und Anwendung <6, 1992, Bad Nauheim>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IMS ()
Bandgapreferenz; capacitive transducer; CMOS integrated circuits; compensation; kapazitives Meßverfahren; Kompensation; komplementäre MOS-Schaltung; Linearisierung; linearization; Siliziumdrucksensor

Abstract
Es wird ein Verfahren vorgestellt, Kapazitätsänderungen von Sensorelementen in Spannungsänderungen umzuwandeln. Bei Plattenkondensatoren wird die Abstandsänderung in eine proportionale Spannungsänderung übertragen. Um Sensoren abgleichen zu können, sind Möglichkeiten zur Empfindlichkeits-, Nullpunkt- und Temperaturkompensation vorgesehen. Dieses Verfahren wurde in einem integrierten CMOS-Schaltkreis realisiert. Die einzelnen Baugruppen des ICs, sowie der gesamte IC zusammen mit einem monolithisch integrierten Drucksensor wurden erfolgreich getestet.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-7899.html