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Elektro-optisches Bauelement

Electro-optical device - uses transparent electrodes partially overlaid with metallic electrodes to avoid optical attenuation and improve conductivity.
 
: Heidrich, H.; Hoffmann, D.

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DE 1987-3724634 A: 19870722
DE 1987-3724634 A: 19870722
DE 3724634 C2: 19950803
G02F0001
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer HHI ()

Abstract
Elektro-optisches Bauelement und Verfahren zu dessen Herstellung. Zur elektrischen Ansteuerung dienende Elektroden flankieren bzw. bedecken den Wellenleiter (1), in dem auf diese Weise die Ausbreitungseigenschaften - Phasenlage, Polarisationszustand - der gefuehrten Lichtwelle beeinflussbar sind. Bei der Ausbildung derartiger Steuerelektroden sind optische und elektrische Auswirkungen zu beruecksichtigen. Die Steuerelektroden werden als Mehrschichtelektroden aufgebaut. Schichten (2), die sich direkt ueber wellenleitenden Bereichen (1) befinden, bestehen aus optisch transparentem, elektrisch leitendem Material, z. B. "ITO". Metallische Schichten (3), die zur bestmoeglichen Erfuellung elektrischer Funktionen dienen, befinden sich weit ausserhalb des wellenleitenden Bereichs (1). Elektrische Steuerung von Ausbreitungseigenschaften gefuehrter optischer Wellen fuer optische Nachrichtentechnik und Signalverarbeitung.

 

DE 3724634 A UPAB: 19930923 The device contains electrodes (2) of optically transparent, e.g. 100 nm thick, material which are formed above the light-guide (1) and cover the adjacent regions. A metallic layer (3) is formed on top of this layer (2) to provide electrical contacts. This layer also covers the adjacent area. The substrate material is pref. LiNbO3, the transparent electrodes are pref. InSn-oxide (ITO). Au or Al are pref. metals for the contact layers (3) and pref. use Ti or Cr as an intermediate adhesion promoting layer. The device pref., consists of a multiple of structurally identical parts which can be connected together using wire-bonding. The devices are mfd. by separate masking of the layers (2, 3) and using lift-off techniques. They are pref. passivated (4). USE/ADVANTAGE - The use of transparent electrodes reduces the optical attenuation and gives the advantages of no drift by ionic condition, reduced bias-requirements and the possibility of symmetrical construction. The disadvantages of low conductivity are removed by using the metal layers which are kept away from the borders of the light-guide to reduce the optical attenuation. The devices are used for the mfr. of interferometers. 3/4

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-75594.html