Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON DREIDIMENSIONALEN SCHALTUNGEN

 
: Buchner, R.; Ramm, P.

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DE 1999-19924935 A: 19990531
EP 2000-926851 A: 20000410
EP 1149417 B1: 20020807
H01L0021
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-75567.html