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MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT MIT SCHWINGKOERPER
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Title
MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT MIT SCHWINGKOERPER
Date Issued
2002
Author(s)
Schenk, H.
Duerr, P.
Kueck, H.
Patent No
1998-19849725
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut fĂĽr Photonische Mikrosysteme IPMS
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=EP&NR=965838A
Patenprio
DE 1998-19849725 A: 19981028