Fraunhofer-Gesellschaft

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Characterization of Nanocrystalline Ta(N,O) - Diffusions Barriers for Use in Semiconductor Metallization and Cu/Ta-Stacks with Scanning Force Microscopy

 

Michel, B.; Winkler, T. ; Deutscher Verband für Materialforschung und -prüfung e.V. -DVM-, Berlin:
Micro Materials. Micro Mat '97. Proceedings : April 16 - 18, 1997, Berlin, Germany
Berlin: DVM, 1997
ISBN: 3-932434-05-6
S.1157
Micro Materials (Micro Mat) <2, 1997, Berlin>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IZFP ()
crystallographic structure; nanocrystalline; resistivity; scanning force microscopy

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-7530.html