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Patente
Palladiumhaltiges Precursormaterial und Verfahren zur Herstellung von metallischen Mikrostrukturen auf dielektrischen Substraten mit einem palladiumhaltigen Precursormaterial
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Title
Palladiumhaltiges Precursormaterial und Verfahren zur Herstellung von metallischen Mikrostrukturen auf dielektrischen Substraten mit einem palladiumhaltigen Precursormaterial
Date Issued
2001
Author(s)
Toepper, M.
Stolle, T.
Krabe, D.
Chmiel, G.
Schammler, G.
Reichl, H.
Patent No
1995-19507813
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=19518512A
Patenprio
DE 1995-19507813 A1: 19950306