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Verfahren und Vorrichtung zur interferometrischen Erfassung der Form und/oder Formveraenderung von Prueflingen
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Title
Verfahren und Vorrichtung zur interferometrischen Erfassung der Form und/oder Formveraenderung von Prueflingen
Date Issued
2002
Author(s)
Evertz, J.
Tutsch, R.
Pfeifer, T.
Patent No
1995-19501983
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie IPT
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=19524036A
Patenprio
DE 1995-19501983 A1: 19950124