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Patente
Verfahren zum Schutz eines vakuumtechnisch bearbeiteten Substrates und Verwendung des Verfahrens
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Title
Verfahren zum Schutz eines vakuumtechnisch bearbeiteten Substrates und Verwendung des Verfahrens
Date Issued
2002
Author(s)
Moosheimer, U.
Langowski, H.
Patent No
1999-19935181
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut für Verfahrenstechnik und Verpackung IVV
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=19935181A
Patenprio
DE 1999-19935181 A: 19990727