Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Verfahren zum Schutz eines vakuumtechnisch bearbeiteten Substrates und Verwendung des Verfahrens

 
: Moosheimer, U.; Langowski, H.

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DE 1999-19935181 A: 19990727
DE 1999-19935181 A: 19990727
DE 19935181 C2: 20020103
C23C0016
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IVV ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-72756.html