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Vorrichtung zur Erzeugung von Extrem-Ultraviolett- und weicher Roentgenstrahlung aus einer Gasentladung

Extreme UV and soft X-ray radiation source e.g. for extreme UV lithography, has auxiliary electrode behind opening in one main gas discharge electrode for increasing energy conversion efficiency.
 
: Neff, W.; Lebert, R.; Bergmann, K.

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Frontpage ()

EP 1999-112403 A: 19990629
DE 1999-19962160 A: 19991222
WO 2000-EP6080 A: 20000629
EP 2000-943945 A: 20000629
EP 1197127 A1: 20020417
DE 19962160 C2: 20031113
H05G0002
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer ILT ()

Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung von Extrem-Ultraviolett- und weicher Roentgenstrahlung aus einer auf dem linken Ast der Paschenkurve betriebenen Gasentladung, bei der zwei Hauptelektroden vorgesehen sind zwischen denen sich ein gasgefuellter Zwischenraum befindet, bei der die Hauptelektroden je eine Oeffnung aufweisen durch welche eine Symmetrieachse definiert ist, und bei der Mittel zur Erhoehung der Konversionseffizienz vorgesehen sind. Bevorzugte Anwendungsgebiete sind solche die extreme Ultraviolett- (EUV-) Strahlung oder weiche Roentgenstrahlung im Wellenlaengenbereich von ca. 1-20 nm benoetigen, und insbesondere um 13 nm, wie zum Beispiel die EUV-Lithografie.

 

WO 200101736 A UPAB: 20010910 NOVELTY - The radiation source uses gas discharge within a gas-filled space (7) between 2 main electrodes (1,2), each provided with an opening (3,8) lying along a symmetry axis (5) for the plasma channel source, the energy conversion efficiency of the radiation source increased via an auxiliary electrode (9a) behind the opening in one of the main electrodes. USE - The radiation source is used for providing extreme UV and soft X-ray radiation in the wavelength range between 1 and 20 nm, e.g. for extreme UV lithography. ADVANTAGE - The conversion efficiency of electrical energy into radiation energy is increased by incorporation of the auxiliary electrode, for providing an increased power output.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-69783.html