Fraunhofer-Gesellschaft

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Braucht die Mikromechanik die Reinraumtechnik?

 
: Dorner, J.

TU Ilmenau:
Tendenzen in der Entwicklung, Konstruktion und Anwendung der Feinwerktechnik und Mikrotechnik
Ilmenau, 1993
S.648-652
Internationales Wissenschaftliches Kolloquium <38, 1993, Ilmenau>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Mikromechanik; Reinraumtechnik

Abstract
Durch die Verkleinerung mikromechanischer Bauteile und Produkte, teilweise in dem fm-Bereich, erhöht sich die Anfälligkeit der Qualitätsverschlechterung durch Kontamination. An einem bestimmten, im jeweiligen Einzelfall zu analysierenden Kontaminationseinfluß auf ein Produkt, kann mit herkömmlichen Maßnahmen keine ausreichende Qualitätssicherung erzielt werden. Hier beginnt dann auch in der Mikromechanik der Einsatz der Reinraumtechnik. In der Regel können hier kostengünstige, der Problemstellung angepaßte Lösungen eingesetzt werden. Grundsätzlich kann festgestellt werden, daß die Mikromechanik zukünftig eine weitere Branche sein wird, in welche die Reinraumtechnik Einzug hält.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-6906.html