Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Vorrichtung zum kontaminationsfreien, kontinuierlichen oder getakteten Transport von scheibenfoermigen Gegenstaenden, insbesondere Substraten oder Wafern, durch eine geschlossene Behandlungsstrecke

 
: Schmutz, W.; Gentischer, J.; Preu, R.; Moeller, R.; Guethenke, G.; Schweitzer, G.

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DE 1998-19857142 A: 19981211
DE 1998-19857142 A: 19981211
DE 19857142 C2: 20001221
B65G0049
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IPT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-67579.html